Кинетический механизм развития поверхностных неустойчивостей при травлении, коррозии и росте упруго-напряженных твердых тел
Шретер Ю.Г.1, Ребане Ю.Т.1, Тархин Д.В.1, Барахтин Б.К.2, Рыбин В.В.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Центральный научно-исследовательский институт конструкционных материалов "Прометей", Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 10 апреля 2000 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2000 г.
Исследовались предвестники коррозии - микроканавки, возникающие на упруго сжатой поверхности пластины кремния при травлении. Предвестники коррозии не наблюдались на упруго растянутой поверхности, что отличает обнаруженное явление от явления коррозионного растрескивания металлов, при котором коррозия обычно наблюдается на растянутой поверхности. Предложена общая динамическая модель развития поверхностных микроканавок при травлении, коррозии и росте упруго-напряженных твердых тел, основанная на представлении о двух локальных скоростях травления (роста), линейно зависящих от локального тензора напряжений. Модель описывает как кинетику процесса, так и асимметрию развития коррозии по отношению к знаку деформации. Исследована роль дефектов упаковки, дислокаций и искусственно созданных поверхностных ступеней в развитии коррозии напряженных кристаллов кремния. Авторы благодарны Российскому фонду фундаментальных исследований за поддержку работы (проект N 98-01-01084).
- Химический энциклопедический словарь / Под ред. И.Л. Кнуянца. Изв-во Советская Энциклопедия, М. (1983). С. 278
- Ю.Г. Шретер, Д.В. Тархин, С.А. Хорев, Ю.Т. Ребане. ФТТ 41, 8, 80 (1999)
- J. Asaro, W.A. Tiller. Metall. Trans. 3, 1789 (1972)
- M.A. Grinfeld. Sov. Phys. Dokl. 31, 831 (1986)
- D.J. Srolovitz. Acta Metall. 37, 621 (1989)
- Y.G. Shreter, Y. T. Rebane, D.V. Tarkhin, S.A. Khorev, D. Cherns, J.W. Steeds. Microscopy of Semiconducting Materials / Ed. by A.G. Cullis, A.E. Staton-Bevan. Inst. Phys. Conf. Ser. 146, 499 (1995)
- Y.G. Shreter, Y.T. Rebane, D.V. Tarkhin, D. Cherns, J.W. Steeds. Material Science Forum 196--201, 3, 1231 (1995)
- F. Secco d'Aragona. J. Elecrochem. Soc. 119, 7, 948 (1972)
- Л.Д. Ландау, Е.М. Лифшиц. Теоретическая физика. Том. VII. Теория упругости. Наука, М. (1965). С. 202
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
