Вышедшие номера
Исследования зависимостей структуры и магнитных свойств пленок FeTaN от концентрации азота
Камзин А.С.1, Вей Фулинь2, Янг Зхенг2, Камзин С.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Научно-исследовательский институт магнитных материалов, Ланджоуский университет, Ланджоу, Китай
Email: Kamzin@pop.ioffe.rssi.ru
Поступила в редакцию: 27 мая 2004 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2005 г.

Исследованы морфологии структуры и магнитные свойства тонких пленок FeTaN с высоким содержанием Ta (10 wt.%), синтезированных отжигом соединений, осажденных методом реактивного радиочастотного магнетронного распыления в газовой смеси Ar + N. Установлены зависимости свойств пленок FeTaN от содержания в них азота и температуры отжига. Определены режимы осаждения и термической обработки соединений FeTaN, при которых синтезируются наноструктурные тонкие пленки FeTaN с высокими магнитомягкими характеристиками Bs=1.6 T, Hc=0.2 Oe и mu1(1 MHz)=3400. Работа выполнена при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (грант N 02-02-39006) и Национального фонда науки Китая.