Издателям
Вышедшие номера
Исследования зависимостей структуры и магнитных свойств пленок FeTaN от концентрации азота
Камзин А.С.1, Вей Фулинь2, Янг Зхенг2, Камзин С.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Научно-исследовательский институт магнитных материалов, Ланджоуский университет, Ланджоу, Китай
Email: Kamzin@pop.ioffe.rssi.ru
Поступила в редакцию: 27 мая 2004 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2005 г.

Исследованы морфологии структуры и магнитные свойства тонких пленок FeTaN с высоким содержанием Ta (10 wt.%), синтезированных отжигом соединений, осажденных методом реактивного радиочастотного магнетронного распыления в газовой смеси Ar + N. Установлены зависимости свойств пленок FeTaN от содержания в них азота и температуры отжига. Определены режимы осаждения и термической обработки соединений FeTaN, при которых синтезируются наноструктурные тонкие пленки FeTaN с высокими магнитомягкими характеристиками Bs=1.6 T, Hc=0.2 Oe и mu1(1 MHz)=3400. Работа выполнена при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (грант N 02-02-39006) и Национального фонда науки Китая.
  • X. Sui, M.H. Kryder. Appl. Phys. Lett. 63, 1582 (1993)
  • T. Kiyomura, Y. Maruo, M. Gomi. J. Appl. Phys. 88, 4768 (2000)
  • B.Y. Wong, X. Sui, D.E. Laughlin, M.H. Kryder. J. Appl. Phys. 75, 5966 (1994)
  • O. Kohomoto. IEEE Trans. Magn., MAG-27, 3640 (1991)
  • S. Wang, M.H. Kryder. J. Appl. Phys. 69, 5625 (1991)
  • D. Zheng, Y. Ma, D.Wu, T. Xie, F. Wei, Z. Yang. Phys. Stat. Sol. (a) 193, 61 (2002). B. Ma, F.L. Wei, X.X. Liu, C.T. Xiao, Z. Yang. Mater. Sci. Eng. B 57, 96 (1999)
  • R.D. Pehkle, F. Elliott. IEEE Trans 218, 1088 (1960)
  • K. Nakauishi, O. Shimiz, S. Yoshida. IEEE Trans. Magn., MAG-28, 7128 (1992)
  • W.C. Chang, D.C. Wu, J.C. Lin, C.J. Chen. J. Appl. Phys. 79, 5159 (1996)
  • M.K. Minor, B. Viala, J.A. Barnard. J. Appl. Phys. 79, 5005 (1996)
  • Y. Ma, X. Li, T. Xie, F. Wei, Z. Yang. Mater. Sci. Eng. B 103, 233 (2003)
  • F. Chen, Z. Zhigan, Z. Xu, C. Liao, C. Yan. Thin Solid Films 339, 109 (1999)
  • S.A. Chambers, R.F.C. Farrow, S. Maat, M.F. Toney, L. Folks, J.G. Catalano, T.P. Trainor, G.E. Brown. Jr. J. Magn. Magn. Mater. 246, 124 (2002)
  • K.H.J. Buschow. Handbook of Magnetic Materials. Vol. 10. D. Elesevier Science (1997). P. 433
  • G. Herzer. IEEE Trans. Magn. 26, 1937 (1990)
  • N. Hasegawa, M. Saito. IEEE Trans. Magn. Japan, MAG-6, 91 (1991)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.