Вышедшие номера
Влияние ультразвуковой обработки на подвижность коротких дислокаций в кристаллах кремния
Островский И.В.1, Стебленко Л.П.1, Надточий А.Б.1
1Киевский национальный университет им. Тараса Шевченко, Киев, Украина
Email: iostrov@genphys.ups.kiev.ua
Поступила в редакцию: 8 июля 1999 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 2000 г.

Изучено влияние ультразвуковой обработки на подвижность коротких приповерхностных дислокаций в кристаллах кремния. Обнаружено, что ультразвуковая обработка кристаллов кремния приводит к изменению скорости перемещения дислокаций при постоянной механической нагрузке. При этом характер изменения скорости дислокаций определяется знаком внешних напряжений, действующих на образец, - сжимающие усилия приводят к уменьшению, а растягивающие - к увеличению скорости дислокаций. После воздействия на образцы кремния ультразвуковых колебаний наблюдается уменьшение энергии активации движения дислокаций и усиление электропластического эффекта. Обсуждается возможный механизм наблюдаемых явлений.
  1. H.F. Matare. Defects Electronics in Semiconductors. Wiley-Intersciens, N.Y.--London (1971). 474 p
  2. Н. Маеда, К. Кимура, С. Такеути. Изв. АН СССР. Сер. физ. 51, 4, 729 (1987)
  3. V.A. Makara, L.P. Steblenko, E.G. Robur. Solid State Phenomena 32--33, 619 (1993)
  4. В.В. Лемешко, В.А. Макара, Л.П. Стебленко, В.В. Обуховский, Е.Г. Робур. ФТТ 36, 9, 2618 (1994)
  5. Т. Судзуки, Х. Есинага, С. Такеути. Динамика дислокаций и пластичность. Мир, М. (1989). 294 с
  6. I.V. Ostrovskii, O.A. Korotchenkov, T. Goto, H.G. Grimmeiss. Phys. Reports 311, 1, 1 (1999)
  7. И.Б. Ермолович, В.В. Миленин, Р.В. Конакова, Л.Н. Применко, И.В. Прокопенко, В.Л. Громашевский. ФТП 31, 4, 503 (1997)
  8. В.П. Алехин. Физика прочности и пластичности поверхностных слоев материалов. Наука, М. (1983). 280 с
  9. Дж. Хирт, И. Лоте. Теория дислокаций. Атомиздат, М. (1972). 600 с
  10. Б.В. Петухов. ФММ 56, 6, 1178 (1983)
  11. И.В. Островский. Акустолюминесценция и дефекты кристаллов. Выща шк., Киев (1993). 229 с
  12. О.А. Коротченков, А.Х. Рожко, А.М. Антонов, И.В. Островский. ФТТ 35, 8, 2244 (1993)
  13. В.А. Макара, Л.П. Стебленко, М.Я. Горидько, Е.Г. Робур, Т.В. Волкова. УФЖ 42, 3, 328 (1997)
  14. А.П. Здебский, М.И. Лисянский, Н.Б. Лукьянчиков, М.К. Шейнкман. Письма в ЖТФ 13, 16, 1009 (1987)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.