Вышедшие номера
Структура, примесный состав и фотолюминесценция механически полированных слоев монокристаллического кремния
Баталов Р.И.1, Баязитов Р.М.1, Хуснуллин Н.М.2, Теруков Е.И.3, Кудоярова В.Х.3, Мосина Г.Н.3, Андреев Б.А.4, Крыжков Д.И.4
1Казанский физико-технический институт им. Е.К. Завойского, ФИЦ Казанский научный центр РАН, Казань, Россия
2Казанский государственный университет, Казань, Россия
3Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
4Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: bayaz@kfti.knc.ru
Выставление онлайн: 20 декабря 2004 г.

Рассмотрено введение в монокристаллический кремний оптически активных дефектов (атомных кластеров, дислокаций, преципитатов) путем радиационных воздействий, пластической деформации или термической обработки как один из возможных подходов к созданию кремниевых структур, излучающих в ближней ИК-области. Дефекты вводились в кремний с помощью традиционной механической полировки пластин. Трансформация дефектной структуры и примесный состав нарушенных слоев кремния в процессе термического отжига (ТО) кристалла исследовались методами просвечивающей электронной микроскопии и рентгеновской флуоресценции. Оптические свойства дефектов исследовались с помощью фотолюминесценции (ФЛ) в ближней ИК-области при 77 K. Показано, что в результате ТО при температурах 850-1000oC имеет место трансформация дефектов, полученных при механической полировке, в дислокации и дислокационные петли, а также формирование преципитатов SiO2. В зависимости от температуры отжига в спектрах ФЛ преобладает вклад от окисных преципитатов либо дислокаций, декорированных атомами меди, геттерированными из объема кристалла. Работа выполнена при поддержке программы Отделения физических наук РАН "Новые материалы и структуры" и программы "Фундаментальные исследования и высшее образование" (BRHE REC-007).
  1. L. Pavesi. J. Phys.: Cond. Matter 15, R 1169 (2003)
  2. М.В. Бортник, В.Д. Ткачев, А.В. Юхневич. ФТП 1, 353 (1967)
  3. L.T. Canham, K.G. Barraclough, D.J. Robbins. Appl. Phys. Lett. 51, 1509 (1987)
  4. V.V. Kveder, E.A. Steinman, S.A. Shevchenko, H.G. Grimmeiss. Phys. Rev. B 51, 10 520 (1995)
  5. E.O. Sveinbjorsson, J. Weber. Appl. Phys. Lett. 69, 2686 (1996)
  6. S. Binetti, S. Pizzini, E. Leoni, R. Somaschini, A. Castaldini, A. Cavallini. J. Appl. Phys. 92, 2437 (2002)
  7. A.J. Kenyon, E.A. Steinman, C.W. Pitt, D.E. Hole, V.I. Vdovin. J. Phys.: Cond. Matter 15, S 2843 (2003)
  8. Р.И. Баталов, Р.М. Баязитов, Б.А. Андреев, Д.И. Крыжков, Е.И. Теруков, В.Х. Кудоярова. ФТП 37, 1427 (2003)
  9. V. Higgs, E.C. Lightowlers, G. Davies, F. Schaffler, E. Kasper. Semicond. Sci. Technol. 4, 593 (1989)
  10. V. Higgs, M. Goulding, A. Brinklow, P. Kightley. Appl. Phys. Lett. 60, 1369 (1992)
  11. T.J. Magee, C. Leung, H. Kawayoshi, B.K. Furman, C.A. Evans, jr. Appl. Phys. Lett. 39, 631 (1981)
  12. A.A. Istratov, H. Hieslmair, E.R. Weber. Appl. Phys. A 70, 489 (2000)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.