Короткопериодные сверхрешетки (СР) с периодом от 7 до 22 nm выращены методом молекулярно-лучевой эпитаксии в системе CdF2--CaF2 на Si(111). Произведены рентгенодифракционные измерения полученных структур в различных геометриях отражения и прохождения, продемонстрировавшие возможность создания таких объектов с высоким кристаллическим совершенством. Рассмотрены особенности дифракции от СР со слоями, обладающими существенно различными дифрагирующими способностями и деформацией разного знака по отношению к подложке. Моделированием в полукинематическом приближении получены основные параметры выращенных СР. Показана применимость модели идеальной СР к объектам, имеющим структурные дефекты.
V.S. Speriosu, T. Vreeland. J. Appl. Phys. 56, 1591 (1984)
J. Kervarez, M. Baudet, J. Gaulet, P. Auvrey. J. Appl. Cryst. 17, 196 (1984)
A.T. Macrander, G.P. Schwartz, G.J. Gualtieri. J. Appl. Phys. 64, 6733 (1988)
T. Baumbach, H.-G. Bruhl, U. Pitsch, H. Terauchi. Phys. Stat. Sol. (a), 105, 197 (1988)
H. Terauchi, S. Sekimoto, K. Kamigaki, H. Sakashita, N. Sano, H. Kato, M. Nakayama. J. Phys. Soc. Jap. 54, 4776 (1983)
U. Pietch, H. Metzger, S. Rugel, B. Jenichen, J.K. Robinson. J. Appl. Phys. 74, 2381 (1993)
K. Nakashima. J. Appl. Phys. 71, 1189 (1992)
R.N. Kyutt, A.Yu. Khilko, N.S. Sokolov. Appl. Phys. Lett. 76, 1563 (1997)
S.V. Novikov, N.N. Faleev, A. Izumi, A.Yu. Khilko, N.S. Sokolov, S.A. Solov'ev, K. Tsutsui. Abstracts of Int. Symp. Nanostructures: Physics and Technology, St.Petersburg, Russia (1995). P. 387--390
R.N. Kyutt, P.V. Petrashen, L.M. Sorokin. Phys. Stat. Sol. (a) 60, 381 (1980)
N.S. Sokolov, J.C. Alvarez, Yu.V. Shusterman, N.L. Yakovlev, R.M. Overney, Y. Itoh, I. Takahashi, J. Harada. Appl. Surf. Sci. 104/105, 402 (1995)
A.Yu. Khilko, R.N. Kyutt, N.S. Sokolov, M.V. Zamoryanskaya, L.J. Schowalter, Yu.V. Shusterman. Inst. Phys. Conf. Ser., 155. Ch. 12, 1021 (1997); Paper presented at 23rd Int. Symp. Compound Semiconductors. St.Petersburg, Russia (Sept. 1996)
P.F. Fewster. Semicond. Sci. Technol. 8, 1915 (1993)
V.M. Kaganer, R. Koehler, M. Schmidt, R. Opitz, B. Jenihen. Phys. Rev. B55, 1793 (1997)