Издателям
Вышедшие номера
Влияние отжига на диэлектрическую проницаемость пленочного титаната стронция в структуре SrTiO3 / Al2O3
Прудан А.М.1, Гольман Е.К.1, Козырев А.Б.1, Козлов А.А.1, Логинов В.Е.1, Земцов А.В.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 4 декабря 1997 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1998 г.

Проведены экспериментальные исследования структуры пленки титаната стронция на сапфировой подложке и диэлектрических свойств конденсаторов на основе многослойной системы SrTiO3 / Pt / Al2O3 до и после высокотемпературного отжига. Исследованы макро- и микроструктура пленок SrTiO3 и ее изменение в результате отжига. Определены температурные и полевые зависимости диэлектрической проницаемости пленочного титаната стронция и проведено их сопоставление с аналогичными данными для монокристалла. Обсуждаются механизмы влияния отжига на емкость конденсаторов и на свойства пленок SrTiO3.
  • Ю.Я. Томашпольский, М.А. Севостьянов, Г.Е. Ратников, А.Ф. Федотов. Кристаллография 20, 1, 194 (1975)
  • Б.М. Гольцман, Н.В. Зайцева, Ю.Л. Крецер, В.В. Леманов, Т.А. Шаплыгина. ФТТ 37, 12, 3723 (1995)
  • В.М. Мухортов, Я.С. Никитин, М.Г. Радченко, В.А. Алешин, Ю.И. Головко, В.П. Дудкевич. ЖТФ 56, 7, 1372 (1986)
  • R. Kalyanaraman, R.D. Vispute, S. Oktyabrsky, K. Dovidenko, K. Jagannadham, J. Narayan, J.D. Budal, N. Parikh, A. Sivkhanov. Appl. Phys. Lett. 71, 12, 1709 (1997)
  • E. Chen, S.Y. Chou. IEEE Transactions on microwave theory and techniquess 45, 6, 939 (1997)
  • А.М. Прудан, Е.К. Гольман, А.Б. Козырев, Р.Н. Кютт, В.Е. Логинов. ФТТ 39, 6 1024 (1997)
  • K. Bethe. Philips Res. Rep., 2, 1 (1970)
  • E. Hegenbarth, C. Frenzel. Cryogenics 7, 6, 331 (1967)
  • Г.В. Белокопытов. ФТТ 37, 7, 1953 (1995)
  • S. Komatsu, A. Kazuhide. Jpn. J. Appl. Phys. 34, 3597 (1995)
  • Ю.А. Бойков, И.П. Пронин, З.Г. Иванов, Т. Клаесон. ФТТ 38, 4, 1100 (1996)
  • T. Hirano, M. Taga, T. Kobayashi. Jpn. J. Appl. Phys. 32, L 1760 (1993)
  • F.A. Miranda, C.H. Mueller, G.A. Koepf. Supercond. Sci. Technol. 8, 755 (1995)
  • О.Г. Вендик, С.П. Зубок, Л.Т. Тер-Мартиросян. ФТТ 38, 12, 3654 (1996)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.