Издателям
Вышедшие номера
Фотолюминесценция пленок a-Si : H, легированных эрбием из металлорганического соединения Er(HFA)3·DME в процессе плазмохимического газофазного осаждения
Воронков В.Б.1, Голубев В.Г.1, Горшков Н.И.2, Медведев А.В.1, Певцов А.Б.1, Суглобов Д.Н.2, Феоктистов Н.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Научно-производственное объединение "Радиевый институт им. В.Г. Хлопина", Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 12 февраля 1998 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1998 г.

В рамках стандартной низкотемпературной (<300oC) технологии PE CVD получены пленки a-Si(Er) : H, излучающие в области 1.54 mum при комнатной температуре. В качестве источника Er использован специально синтезированный фторосодержащий металлорганический комплекс Er(HFA)3·DME (HFA=CF3C(O)CHC(O)CF3, DME=CH3OCH2CH2OCH3 ), обладающий низкой (порядка 100oC) температурой перехода в газовую фазу при рабочих давлениях (0.1-0.5 Torr) метода PE CVD. Исследованы особенности спектров фотолюминесценции a-Si(Er) : H в диапазоне 0.5-1.7 mum при T=77 и 300 K. Наличие фотопроводимости в синтезированных пленках свидетельствует об их удовлетворительном электронном качестве.
  • M.S. Bresler, O.V. Gusev, V.Kh. Kudoyarova, A.N. Kuznetsov, P.E. Pak, E.I. Terukov, I.N. Yassievich, B.P. Zakharchenya, W. Fuhs, A. Sturm. Appl. Phys. Lett. 67, 24, 3599 (1995)
  • Е.И. Теруков, В.Х. Кудоярова, М.М. Мездрогина, В.Г. Голубев, A. Sturm, W. Fuhs. ФТП 30, 5, 820 (1996)
  • J.H. Shin, R. Serna, G.N. van den Hoven, A. Polman. W.G.J.M. van Sark, A.M. Vredenberg. Appl. Phys. Lett. 68, 7, 997 (1996)
  • A.R. Zanatta, L.A.O. Nunes. Appl. Phys. Lett. 70, 4, 511 (1997)
  • J.L. Rogers, P.S. Andry, W.J. Varhue, E. Adams, M. Lavoie, P.B. Klein. J. Appl. Phys. 78, 10, 6241 (1995)
  • P.S. Andry, W.J. Varhue, F. Lapido, K. Ahmed, P.B. Klein, P. Hengenhold, J. Hunter. J. Appl. Phys. 80, 1, 551 (1996)
  • Физика аморфного гидрогенизированного кремния. В. 1 / Под ред. Дж. Джоунопулоса и Дж. Люковски. Мир, М. (1987). 363 с
  • В.Б. Воронков, В.Г. Голубев, Н.И. Горшков, А.В. Медведев, А.Б. Певцов, Д.Н. Суглобов, Н.А. Феоктистов. Письма в ЖТФ 24, 12, в печати (1998)
  • J. Michel, J.L. Benton, R.F. Ferrante, D.C. Jacobson, D.J. Eaglesham, E.A. Fitzgerald, Y.H. Xie, J.M. Poate, L.C. Kimerling. J. Appl. Phys. 70, 5, 2672 (1991)
  • F. Priolo, G. Franzo, S. Coffa, A. Polman, S. Libertino, R. Barklie, D. Carey. J. Appl. Phys. 78, 6, 3874 (1995)
  • W.-X. Ni, K.B. Joelsson, C.-X. Du, I.A. Buyanova, G. Pozina, W.M. Chen, G.V. Hansson, B. Monemar, J. Cardenas, B.G. Svensson. Appl. Phys. Lett. 70, 25, 3383 (1997)
  • А. Мадан, В сб.: Физика аморфного гидрогенизированного кремния. В. 1 / Под ред. Дж. Джоунопулоса и Дж. Люковски. Мир, М. (1987). С. 310
  • M. Morse, B. Zheng, J. Palm, X. Duan, L.C. Kimerling. Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 422, 41 (1996)
  • A.J. Kenyon, P.F. Trwoga, M. Federighi, C.W. Pitt. Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 358, 117 (1995)
  • Н.П. Гребенщиков, Г.В. Сидоренко, Д.Н. Суглобов. Радиохимия 32, 6, 14 (1990)
  • Н.И. Горшков, Д.Н. Суглобов, Г.В. Сидоренко. Радиохимия 37, 3, 196 (1995)
  • В.Ф. Мастеров, Л.В. Захаренков. ФТП 24, 4, 610 (1990)
  • R. Street. Adv. Phys. 30, 5, 593 (1981)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.