Издателям
Вышедшие номера
Тепловые параметры слоев и границ раздела в структурах кремний на алмазе
Клоков А.Ю.1, Аминев Д.Ф.1, Шарков А.И.1, Ральченко В.Г.2, Галкина Т.И.1
1Физический институт им. П.Н. Лебедева Российской академии наук, Москва, Россия
2Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, Москва, Россия
Email: shark@lebedev.ru
Поступила в редакцию: 4 февраля 2008 г.
Выставление онлайн: 21 ноября 2008 г.

Исследовано распространение тепла при комнатной температуре в гетероструктуре, состоящий из поликристаллической алмазной пленки, осажденной из углеводородной плазмы на ориентированную кремниевую подложку. Измерена динамика остывания тонкопленочного индиевого термометра, нанесенного на алмазную пленку, после нагрева наносекундными импульсами азотного лазера. Экспериментальные данные сравниваются с величинами, рассчитанными в рамках теории теплопроводности для многослойных систем. Проведенный анализ позволил определить одновременно теплопроводность алмазной пленки и тепловое сопротивление границы алмаз/Si и In/алмаз. Работа поддержана Российским фондом фундаментальных исследований (проект N 05-02-17545). PACS: 66.70.+f, 63.20.Kr, 63.20.Mt
  • R. MacKenzie, J.J. Lim, S. Bull, S. Sujecki, A.J. Kent, E.C. Larkins. J. Phys. Conf. Ser. 92, 012 068 (2007)
  • N.K. Annamalai, P. Fechner, J. Sawyer. Proc. 1992 IEEE Int. SOI Conf. (1992). P. 64
  • A. Aleksov, T.X. Li, N. Govindaryaju, J.M. Gobien, S.D. Wolter, J.T. Prater, A. Sitar. Diamond Related Mater. 14, 308 (2005)
  • Природные алмазы России / Под ред. В.Б. Кваскова. Полярон, М. (1997)
  • E. Kohn, W. Ebert. In: Low-pressure synthetic diamond: manufacturing and applications / Eds B. Dischler, C. Wild. Springer, Berlin (1998). P. 331
  • В. Ральченко, В. Конов. Электроника: Наука, технология, бизнес 4, 58 (2007)
  • Low-pressure synthetic diamond: manufacturing and applications / Eds B. Dischler, C. Wild. Springer, Berlin (1998). 384 p
  • E.T. Swartz, R.O. Pohl. Rev. Mod. Phys. 61, 605 (1989)
  • A. Lahmar, T.P. Nguyen, D. Sakami, S. Orain, Y. Scudeller, F. Danes. Thin Solid Films 389, 167 (2001)
  • M.N. Touzelbaev, K.E. Goodson. Diamond Related Mater. 7, 7, 1 (1998)
  • K.E. Goodson, O.W. Kading, M. Rosler, R. Zachai. J. Appl. Phys. 77, 1385 (1995)
  • H. Verhoeven, E. Boetteger, A. Floter, H. Reib, R. Zachai. Diamond Related Mater. 6, 6, 298 (1997)
  • V. Ralchenko, T. Galkina, A. Klokov, A. Sharkov, S. Chernook, V. Martovitsky. In: Science and technology of semiconductor-on-insulator structure and devices operating in a harsh environment / Eds D. Flandre et al. Kluwer (2005). P. 77
  • Физические величины. Справочник / Под ред. И.С. Григорьева, Е.З. Мейликова. Энергоатомиздат, М. (1991)
  • A.V. Sukhadolau, E.V. Ivakin, V.G. Ralchenko, A.V. Khomich, A.V. Vlasov, A.F. Popovich. Diamond Related Mater. 14, 589 (2005)
  • Х.С. Карслоу. Теория теплопроводности. ГИТТЛ, М. (1947). 288 с
  • J.E. Graebner. Diamond Related Mater. 5, 1366 (1996)
  • Т.И. Галкина, Д.Ф. Аминев, А.Ю. Клоков, А.И. Шарков, В.Г. Ральченко. Тез. докл. VIII Рос. конф. по физике полупроводников. Институт физики металлов УрО РАН, Екатеринбург (2007). С. 420
  • R.J. Stoner, H.J. Maris. Phys. Rev. B 48, 16 373 (1993)
  • D.G. Cahill, K. Goodson, A. Majumdar. J. Heat Transfer 124, 223 (2002)
  • L.C. Nistor, J. Van Landuyt, V.G. Ralchenko, A.A. Smolin, K.G. Korotushenko, E.D. Obraztsova. J. Mater. Res. 12, 2533 (1997)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.