Издателям
Вышедшие номера
Процессы силицидообразования в системе Fe/Si(111)7-1ptx-1pt7
Гомоюнова М.В.1, Малыгин Д.Е.1, Пронин И.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: Marina.Gomoyunova@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 27 декабря 2007 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2008 г.

Методом фотоэлектронной спектроскопии высокого разрешения (~100 meV) с использованием синхротронного излучения изучены начальные стадии формирования силицидов железа в системе Fe/Si(111)7-1ptx-1pt7 в режиме твердофазой эпитаксии. Измерены и проанализированы спектры остовных Si 2p-электронов и электронов валентной зоны, полученные после нанесения на поверхность образца возрастающих доз железа величиной до 28 монослоев и последующих изохронных отжигов до температуры 650oC. Показано, что при напылении Fe сначала формируется сверхтонкая пленка метастабильного силицида FeSi со структурой типа CsCl, а затем на ней растет слой твердого раствора Fe--Si с сегрегированным кремнием. При покрытиях, больших 10 монослоев, на поверхности образца формируется пленка железа. Отжиги кристалла кремния, покрытого слоем Fe, приводят к последовательному образованию в приповерхностной области двух стабильных силицидных фаз --- varepsilon-FeSi и beta-FeSi2. При этом процесс твердофазного синтеза varepsilon-FeSi проходит через стадию трансформации пленки железа в твердый раствор Fe--Si. Работа выполнена при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (проект N 07-02-01009) и Российско-Германской лаборатории на BESSY. PACS: 79.60.Dp, 68.43.-h
  • N. Cherief, J.Y. Veuillen, N.A. Ngugen Nan, R. Cinti. Vaccum 41, 1350 (1990)
  • J. Alvarez, J.J. Hinarejos, E.G. Michel, J.M. Gallego, R.M. Miranda. Surf. Sci. 251/252, 59 (1991)
  • J. Chevrier, V. Le Tranh, S. Nitshe, J. Derrein. Appl. Surf. Sci. 56--58, 438 (1992)
  • J. Alvarez, J.J. Hinarejos, E.G. Michel, G.R. Castro, R. Miranda. Phys. Rev. B 45, 14 042 (1992)
  • J.M. Gallego, J.M. Garcia, J. Alvarez, R.M. Miranda. Phys. Rev. B 46, 13 339 (1992)
  • Le Thanh Vinh, J. Cherier, J. Derrien. Phys. Rev. B 46, 15 946 (1992)
  • H. von Kanel, N. Onda, K. Sirringhaus, E. Muller-Gubler, S. Gonsalves-Conto, C. Schawarz. Appl. Surf. Sci. 70/71, 559 (1993)
  • H. Sirringhaus, N. Onda, E. Muller-Gubler, S. Gonsalves-Conto, H. von Kanel. Phys. Rev. B 47, 10 567 (1993)
  • K. Konuma, J. Vrijmoeth, P.M. Zagwijn, J.W.M. Frenken, E. Vlieg, J.F. Van der Veen. J. Appl. Phys. 73, 1104 (1993)
  • W. Raunau, H. Niehus, G. Comsa. Surf. Sci. 284, L 375 (1993)
  • J. Alvarez, A.L. Vazquez de Parga, J.J. Hinarejos, E.G. Michel, C. Ocal, R.M. Miranda. Phys. Rev. B 47, 16 048 (1993)
  • N. Jedrecy, A. Waldhauer, M. Sauvage-Simkin. Phys. Rev. B 49, 4725 (1994)
  • X. Wallart, J.P. Nys, C. Tetelin. Phys. Rev. B 49, 5714 (1994)
  • F. Sirotti, M. De Santis, V. Jin, G. Rossi. Phys. Rev. B 49, 11 134 (1994)
  • S. Hong, P. Wetzel, G. Gewinner, D. Bolmont, C. Pirri. J. Appl. Phys. 78, 15 404 (1995)
  • S. Hong, U. Kafader, P. Wetsel, G. Gewinner, S. Pirri. Phys. Rev. B 51, 17 667 (1995)
  • M. Hasegawa, N. Kobayeshi, N. Nayashi. Surf. Sci. 357--358, 831 (1996)
  • J. Chrost, J.J. Hinarejes, P. Segovia, E.G. Michel, R. Miranda. Surf. Sci. 371, 297 (1997)
  • R. Klasges, C. Carbone, W. Eberhardt, C. Pampuch, O. Rader, T. Kachel, M. Gudat. Phys. Rev. B 56, 10 801 (1997)
  • J. Avila, A. Mascaraque, C. Tecderescu, E.G. Michel, M.C. Acerisio. Surf. Sci. 377--379, 856 (1997)
  • W. Weib, M. Kutschera, U. Starke, M. Mozaffari, K. Reshoft, U. Kohler, K. Heinz. Surf. Sci. 377--379, 861 (1997)
  • D. Mangelinck, L. Wang, C. Lin, P. Gas, J. Grako, M. Ostling. J. Appl. Phys. 83, 4193 (1998)
  • P. Bertoncini, P. Wetzel, D. Berling, G. Gewinner, C. Ubhaq-Bouillet, V. Pierron Bohnes. Phys. Rev. B 60, 11 123 (1999)
  • M. Sasase, T. Nakanoyma, H. Yamamoto. Thin Solid Films 401, 73 (2001)
  • M. Probst, R. Denecke, C. Whelan, M. Kinne, D. Borgmann, H.P. Stein. Surf. Interface Analysis 34, 744 (2002)
  • S. Walter, M. Klause, F. Blobner, S. Muller, U. Starke, K. Heinz. J. Phys. Cond. Matter 15, 5207 (2003)
  • G. Garreau, S. Hajjar, S. Pelletier, M. Imhoff, C. Pirri. Appl. Surf. Sci. 212--213, 711 (2003)
  • S. Hajjar, G. Garreau, S. Pelletier, P. Bertoncini, P. Wetzel, G. Gewinner, M. Imhoff, C. Pirri. Surf. Sci. 532--535, 940 (2003)
  • A. Wawro, S. Suto, R. Czajka, A. Kasuya. Phys. Rev. B 62, 11 123 (2003)
  • N.G. Galkin, V.O. Polyarnyi, A.S. Gouralnik. Thin Solid Films 404--405, 199 (2004)
  • R. Tsushima, Y. Michishita, S. Fujii, H. Okado, K. Umezawa, Y. Maeda, Y. Terai, K. Oura, M. Katayama. Surf. Sci. 579, 73 (2005)
  • I. Dezsi, Cs. Detzer, I. Szucs, J. Dekoster, A. Vantonime, M. Caymax. Surf. Sci. 599, 122 (2005)
  • K. Kataoka, K. Hattori, Y. Miyatake, H. Daimon. Phys. Rev. B 74, 155 406 (2006)
  • М.В. Гомоюнова, Д.Е. Малыгин, И.И. Пронин. ФТТ 48, 1898 (2006)
  • M.V. Gomoyunova, I.I. Pronin, D.E. Malygin, A.S. Voronchihin, D.V. Vyalikh, S.L. Molodtsov. Surf. Sci. 601, 5069 (2007)
  • Н.И. Плюснин, В.М. Ильященко, С.В. Крылов, С.А. Китань. Письма в ЖТФ 33, 79 (2007)
  • M.C. Bost, J.E. Mahan. J. Appl. Phys. 58, 2696 (1985)
  • J. Hafner, D. Spisak. Phys. Rev. B 75, 195 411 (2007)
  • Q.G. Zhu, H. Iwesaki, D. Elen, D. Williams, R.L. Park. J. Appl. Phys. 60, 2629 (1986)
  • J.W.F. Egelhoff. Surf. Sci. Rep. 6, 253 (1987)
  • М.В. Гомоюнова, И.И. Пронин. ЖТФ 74, 10, 1 (2004)
  • М.В. Гомоюнова, И.И. Пронин, Н.Р. Галль, С.Л. Молодцов, Д.В. Вялых. ФТТ 45, 1519 (2003)
  • M.V. Gomoyunova, I.I. Pronin, N.R. Gall, D.V. Vyalikh, S.L. Molodtsov. Surf. Sci. 578, 174 (2005)
  • A. Ishizaka, Y. Shiraki. J. Electrochim. 133, 666 (1986)
  • F. Sirotti, M. De Santis, G. Rossi. Phys. Rev. B 48, 8299 (1993)
  • B. Egert, G. Panzner. Phys. Rev. B 29, 2091 (1984)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.