Вышедшие номера
Home » Физика твердого тела » Год 2008, выпуск 8 » Статья стр. 1518
<<<>>>
Процессы силицидообразования в системе Fe/Si(111)7-1ptx-1pt7
Гомоюнова М.В.1, Малыгин Д.Е.1, Пронин И.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: Marina.Gomoyunova@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 27 декабря 2007 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2008 г.
PDF версия
Методом фотоэлектронной спектроскопии высокого разрешения (~100 meV) с использованием синхротронного излучения изучены начальные стадии формирования силицидов железа в системе Fe/Si(111)7-1ptx-1pt7 в режиме твердофазой эпитаксии. Измерены и проанализированы спектры остовных Si 2p-электронов и электронов валентной зоны, полученные после нанесения на поверхность образца возрастающих доз железа величиной до 28 монослоев и последующих изохронных отжигов до температуры 650oC. Показано, что при напылении Fe сначала формируется сверхтонкая пленка метастабильного силицида FeSi со структурой типа CsCl, а затем на ней растет слой твердого раствора Fe-Si с сегрегированным кремнием. При покрытиях, больших 10 монослоев, на поверхности образца формируется пленка железа. Отжиги кристалла кремния, покрытого слоем Fe, приводят к последовательному образованию в приповерхностной области двух стабильных силицидных фаз - varepsilon-FeSi и beta-FeSi2. При этом процесс твердофазного синтеза varepsilon-FeSi проходит через стадию трансформации пленки железа в твердый раствор Fe-Si. Работа выполнена при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (проект N 07-02-01009) и Российско-Германской лаборатории на BESSY. PACS: 79.60.Dp, 68.43.-h
  1. N. Cherief, J.Y. Veuillen, N.A. Ngugen Nan, R. Cinti. Vaccum 41, 1350 (1990)
  2. J. Alvarez, J.J. Hinarejos, E.G. Michel, J.M. Gallego, R.M. Miranda. Surf. Sci. 251/252, 59 (1991)
  3. J. Chevrier, V. Le Tranh, S. Nitshe, J. Derrein. Appl. Surf. Sci. 56--58, 438 (1992)
  4. J. Alvarez, J.J. Hinarejos, E.G. Michel, G.R. Castro, R. Miranda. Phys. Rev. B 45, 14 042 (1992)
  5. J.M. Gallego, J.M. Garcia, J. Alvarez, R.M. Miranda. Phys. Rev. B 46, 13 339 (1992)
  6. Le Thanh Vinh, J. Cherier, J. Derrien. Phys. Rev. B 46, 15 946 (1992)
  7. H. von Kanel, N. Onda, K. Sirringhaus, E. Muller-Gubler, S. Gonsalves-Conto, C. Schawarz. Appl. Surf. Sci. 70/71, 559 (1993)
  8. H. Sirringhaus, N. Onda, E. Muller-Gubler, S. Gonsalves-Conto, H. von Kanel. Phys. Rev. B 47, 10 567 (1993)
  9. K. Konuma, J. Vrijmoeth, P.M. Zagwijn, J.W.M. Frenken, E. Vlieg, J.F. Van der Veen. J. Appl. Phys. 73, 1104 (1993)
  10. W. Raunau, H. Niehus, G. Comsa. Surf. Sci. 284, L 375 (1993)
  11. J. Alvarez, A.L. Vazquez de Parga, J.J. Hinarejos, E.G. Michel, C. Ocal, R.M. Miranda. Phys. Rev. B 47, 16 048 (1993)
  12. N. Jedrecy, A. Waldhauer, M. Sauvage-Simkin. Phys. Rev. B 49, 4725 (1994)
  13. X. Wallart, J.P. Nys, C. Tetelin. Phys. Rev. B 49, 5714 (1994)
  14. F. Sirotti, M. De Santis, V. Jin, G. Rossi. Phys. Rev. B 49, 11 134 (1994)
  15. S. Hong, P. Wetzel, G. Gewinner, D. Bolmont, C. Pirri. J. Appl. Phys. 78, 15 404 (1995)
  16. S. Hong, U. Kafader, P. Wetsel, G. Gewinner, S. Pirri. Phys. Rev. B 51, 17 667 (1995)
  17. M. Hasegawa, N. Kobayeshi, N. Nayashi. Surf. Sci. 357--358, 831 (1996)
  18. J. Chrost, J.J. Hinarejes, P. Segovia, E.G. Michel, R. Miranda. Surf. Sci. 371, 297 (1997)
  19. R. Klasges, C. Carbone, W. Eberhardt, C. Pampuch, O. Rader, T. Kachel, M. Gudat. Phys. Rev. B 56, 10 801 (1997)
  20. J. Avila, A. Mascaraque, C. Tecderescu, E.G. Michel, M.C. Acerisio. Surf. Sci. 377--379, 856 (1997)
  21. W. Weib, M. Kutschera, U. Starke, M. Mozaffari, K. Reshoft, U. Kohler, K. Heinz. Surf. Sci. 377--379, 861 (1997)
  22. D. Mangelinck, L. Wang, C. Lin, P. Gas, J. Grako, M. Ostling. J. Appl. Phys. 83, 4193 (1998)
  23. P. Bertoncini, P. Wetzel, D. Berling, G. Gewinner, C. Ubhaq-Bouillet, V. Pierron Bohnes. Phys. Rev. B 60, 11 123 (1999)
  24. M. Sasase, T. Nakanoyma, H. Yamamoto. Thin Solid Films 401, 73 (2001)
  25. M. Probst, R. Denecke, C. Whelan, M. Kinne, D. Borgmann, H.P. Stein. Surf. Interface Analysis 34, 744 (2002)
  26. S. Walter, M. Klause, F. Blobner, S. Muller, U. Starke, K. Heinz. J. Phys. Cond. Matter 15, 5207 (2003)
  27. G. Garreau, S. Hajjar, S. Pelletier, M. Imhoff, C. Pirri. Appl. Surf. Sci. 212--213, 711 (2003)
  28. S. Hajjar, G. Garreau, S. Pelletier, P. Bertoncini, P. Wetzel, G. Gewinner, M. Imhoff, C. Pirri. Surf. Sci. 532--535, 940 (2003)
  29. A. Wawro, S. Suto, R. Czajka, A. Kasuya. Phys. Rev. B 62, 11 123 (2003)
  30. N.G. Galkin, V.O. Polyarnyi, A.S. Gouralnik. Thin Solid Films 404--405, 199 (2004)
  31. R. Tsushima, Y. Michishita, S. Fujii, H. Okado, K. Umezawa, Y. Maeda, Y. Terai, K. Oura, M. Katayama. Surf. Sci. 579, 73 (2005)
  32. I. Dezsi, Cs. Detzer, I. Szucs, J. Dekoster, A. Vantonime, M. Caymax. Surf. Sci. 599, 122 (2005)
  33. K. Kataoka, K. Hattori, Y. Miyatake, H. Daimon. Phys. Rev. B 74, 155 406 (2006)
  34. М.В. Гомоюнова, Д.Е. Малыгин, И.И. Пронин. ФТТ 48, 1898 (2006)
  35. M.V. Gomoyunova, I.I. Pronin, D.E. Malygin, A.S. Voronchihin, D.V. Vyalikh, S.L. Molodtsov. Surf. Sci. 601, 5069 (2007)
  36. Н.И. Плюснин, В.М. Ильященко, С.В. Крылов, С.А. Китань. Письма в ЖТФ 33, 79 (2007)
  37. M.C. Bost, J.E. Mahan. J. Appl. Phys. 58, 2696 (1985)
  38. J. Hafner, D. Spisak. Phys. Rev. B 75, 195 411 (2007)
  39. Q.G. Zhu, H. Iwesaki, D. Elen, D. Williams, R.L. Park. J. Appl. Phys. 60, 2629 (1986)
  40. J.W.F. Egelhoff. Surf. Sci. Rep. 6, 253 (1987)
  41. М.В. Гомоюнова, И.И. Пронин. ЖТФ 74, 10, 1 (2004)
  42. М.В. Гомоюнова, И.И. Пронин, Н.Р. Галль, С.Л. Молодцов, Д.В. Вялых. ФТТ 45, 1519 (2003)
  43. M.V. Gomoyunova, I.I. Pronin, N.R. Gall, D.V. Vyalikh, S.L. Molodtsov. Surf. Sci. 578, 174 (2005)
  44. A. Ishizaka, Y. Shiraki. J. Electrochim. 133, 666 (1986)
  45. F. Sirotti, M. De Santis, G. Rossi. Phys. Rev. B 48, 8299 (1993)
  46. B. Egert, G. Panzner. Phys. Rev. B 29, 2091 (1984)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme