Издателям
Вышедшие номера
Электронная структура оксида кремния (О б з о р)
Некрашевич С.С.1, Гриценко В.А.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН, Новосибирск, Россия
Email: nss@isp.nsc.ru
Поступила в редакцию: 3 июля 2013 г.
Выставление онлайн: 20 января 2014 г.

Аморфные пленки оксида кремния являются ключевым диэлектриком в кремниевых интегральных схемах. Физические свойства оксида кремния определяются его электронной структурой. Cистематизированы современные сведения об электронной структуре оксида кремния. Работа поддержана проектом 24.18 СО РАН.
  • В. А. Гриценко. УФН 179, 921 (2009)
  • В.А. Гриценко, И.Е. Тысченко, В.П. Попов, Т.В. Перевалов. Диэлектрики в наноэлектронике. Издательство СО РАН, Новосибирск (2010). 257 с
  • P.M. Schneider, W.B. Fowler. Phys. Rev. Lett. 36, 425 (1976)
  • S.T. Pantelides, W.A. Harrison. Phys. Rev. B 13, 2667 (1976)
  • J.R. Chelikowski, M. Schluter. Phys. Rev. B 15, 4020 (1977)
  • D.L. Griscom. J. Non-Cryst Solids 24, 155 (1977)
  • E. Calabrese, W.B. Fowler. Phys. Rev. B 18, 2888 (1978)
  • R.N. Nucho, A. Madhakur. Phys. Rev. B 21, 1576 (1980)
  • И.А. Брытов, В.А. Гриценко, Ю.Н. Ромащенко. ЖЭТФ 89, 562 (1985)
  • Y.-N. Xu, W.Y. Ching. Phys. Rev. B 51, 17 379 (1995)
  • Y.-N. Xu, W.Y. Ching. Phys. Rev. B 44, 11 048 (1991)
  • E. Gnani, S. Reggiani, R. Colle, M. Rudan. IEEE Transactions on Electron Devices 47, 1795 (2000)
  • E.K. Chang, M. Rohlfing, S.G. Louie. Phys. Rev. Lett. 85, 2216 (1995)
  • В.А. Гриценко, Р.М. Иванов, Ю.Н. Мороков. ЖЭТФ 108, 2216 (1996)
  • V.A. Gritsenko, J.B. Xu, I.H. Wilson, R.M. Kwok. Phys. Rev. Lett. 81, 1054 (1998)
  • В.А. Гриценко, Ю.Н. Новиков, А.В. Шапошников. ФТП 35, 1041 (2001)
  • I.T. Godmanis, A. N. Trukhin, K. Hubner. Phys. Status Solidi B 116, 279 (1983)
  • К.А. Насыров, С.С. Шаймеев, В.А. Гриценко. ЖЭТФ 102, 810 (2006)
  • Y.T. Hou, M.F. Li, Y. Jin, A.F.W.H. Lai. J. Appl. Phys. 91, 258 (2002)
  • M.I. Vexler, S.E. Tyaginov, J. Shulekin. J. Phys. Cond. Matter 17, 8057 (2005)
  • A.V. Vishnyakov, Yu.N. Novikov, V.A. Gritsenko, K.A. Nasyrov. Solid-State Electronics 53, 251 (2009)
  • K.A. Nasyrov, S.S. Shaimeev, V.A. Gritsenko. J. Appl. Phys. 105, 123 709 (2009)
  • M.I. Vexler, A. Kuligk, B. Meinerzhagen. Solid-State Electronics 53, 364 (2009)
  • К.А. Насыров. С.С. Шаймеев, В.А. Гриценко. ЖЭТФ 136, 910 (2009)
  • И.А. Брытов, Ю.Н. Ромащенко. ФТТ 20, 664 (1978)
  • V.A. Gritsenko, A.V. Shaposhnikov, W.M. Kwok. Thin Solid Films 437, 135 (2003)
  • В.А. Гриценко. Строение и электронная структура аморфных диэлектриков в кремниевых МДП структурах. Наука, Новосибирск (1993). 280 с
  • В.А. Гриценко. УФН 178, 727 (2008)
  • J.-J. Yeh. Atomic Calculation of Photoionization Cross-Section and Asymmetry Parameters. Gordon and Breach Science Publisher, Amsterdam (1993). 314 p
  • H.R. Philipp. J. Non-Cryst. Solids 32, 1935 (1971)
  • S.S. Nekrashevich, V.A. Gritsenko. J. Appl. Phys. 110, 114 103 (2011)
  • Т.В. Перевалов, В.А. Гриценко. УФН 180, 587 (2010)
  • E. Martinez, F. Yndurane. Phys. Rev. B 24, 5718 (1981)
  • D. Lohez, M. Lannoo. Phys. Rev. B 27, 5007 (1983)
  • E.P. O'Reilly, J. Robertson. Phys. Rev. B 27, 3780 (1983)
  • J.R. Chelikowsky, N. Bingelli. Solid State Commun. 107, 527 (1998)
  • W.Y. Ching. Phys. Rev. B 26, 6622 (1982)
  • R.P. Gupta. Phys. Rev. B 32, 8278 (1985)
  • С.С. Некрашевич, В.А. Гриценко, Р. Клаузер. ЖЭТФ 138, 745 (2010)
  • Y.P. Li, W.Y. Ching. Phys. Rev. B 31, 2172 (1985)
  • Г.М. Бартенев, С.М. Бреховских, А.З. Варисов. Изв. АН СССР, Неорган. материалы 6, 1553 (1970)
  • S. Mukhopadhyay, P.V. Sushko, A.M. Stoneham, A. Shluger. Phys. Rev. B 71, 235 204 (2005)
  • P.-O. Lowdin. Adv. Quantum Chem. 5, 185 (1970)
  • N.F. Mott, E.A. Davis. Electron Processes in Non-Crystalline Materials. Clarendom Press, Oxford (1979). 428 p
  • H. Fritzshe. J. Non.-Crystalline Solids 6, 49 (1971)
  • Б.И. Шкловский, А.Л. Эфрос. Электронные свойства легированных полупроводников. Наука, М. (1979). 397 с
  • M. Schreiber, Y.A. Toyozawa. J. Phys. Sos. Jpn 51, 1544 (1982)
  • J.D. Dow, D. Radfield. Phys. Rev. B 5, 594 (1972)
  • J.D. Jorgensen. J. Appl. Phys. 49, 5473 (1978)
  • M. Lenzliger, E.H. Snow. J. Appl. Phys. 40, 278 (1969)
  • Z.A. Weinberg, W.C. Johnson, M.A. Lampert. J. Appl. Phys. 47, 248 (1976)
  • R.J. Powell, M. Morad. J. Appl. Phys. 49, 2499 (1978)
  • A.M. Goodman. Phys. Rev. B 152, 780 (1966)
  • V.A. Gritsenko, E.E. Meerson, Yu.N. Morokov. Phys. Rev. B 57, R2081 (1997)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.