Вышедшие номера
Особенности травления в плазме спиралевидных структур PbTe на подложках BaF2(111)
Зимин С.П.1, Горлачев Е.С.1, Кутровская С.В.2
1Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова, Ярославль, Россия
2Владимирский государственный университет, Владимир, Россия
Email: zimin@uniyar.ac.ru
Поступила в редакцию: 28 августа 2008 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2009 г.

Методами атомно-силовой микроскопии исследована морфология поверхности пленок теллурида свинца с образованиями спиралевидной формы на подложках фторида бария ориентации (111) в исходном состоянии и после обработки в аргоновой плазме. Показано, что присутствие крупных спиралевидных ступенчатых структур в области выходов пронизывающих дислокаций приводит к специфическим явлениям при распылении. Определены основные особенности модификации рельефа поверхности и взаимосвязь формирующихся одиночных и сгруппированных микровыступов с исходным рельефом и дислокациями. Работа выполнена при частичной финансовой поддержке программы "Развитие научного потенциала высшей школы" (проект N 2.1.1/466). PACS: 68.37.Ps, 68.55.J-, 81.65.Cf, 52.77.Bn
  1. F.C. Frank. Acta Cryst. 4, 497 (1951)
  2. W.K. Burton, N. Cabrera, F.C. Frank. Phil. Trans. R. Soc. (London) A 243, 299 (1951)
  3. A.Karma, M. Plapp. Phys. Rev. Lett. 81, 4444 (1998)
  4. M. Boberl, W. Heiss, T. Schwarzl, K. Wiesauer, G. Springholz. Appl. Phys. Lett. 82, 4065 (2003)
  5. M. Arnold, D. Zimin, H. Zogg. Appl. Phys. Lett. 87, 141 103 (2005)
  6. G. Springholz, A.Y. Ueta, N. Frank, G. Bauer. Appl. Phys. Lett. 69, 2822 (1996)
  7. G. Springholz. Appl. Phys. Lett. 75, 3099 (1999)
  8. U.A. Mengui, E. Abramof, P.H.O. Rappl, A.Y. Ueta. Brazilian J. Phys. 36, 324 (2006)
  9. H.F. Wu, H.J. Zhang, Y.H. Lu, T.N. Xu, J.X. Si, H.Y. Li, S.N. Bao, H.Z. Wu, P. He. J. Cryst. Growth 294, 179 (2006)
  10. T.N. Xu, H.Z. Wu, J.X. Si, C.F. Cao. Appl. Surf. Sci. 253, 5457 (2007)
  11. S.P. Zimin, E.S. Gorlachev, I.I. Amirov, M.N. Gerke, H. Zogg, D. Zimin. Semicond. Sci. Technol. 22, 929 (2007)
  12. S.P. Zimin, E.A. Bogoyavlenskaya, E.S. Gorlachev, V.V. Naumov, D. Zimin, H. Zogg, M. Arnold. Semicond. Sci. Technol. 22, 1317 (2007)
  13. С.П. Зимин, Е.С. Горлачев, И.И. Амиров, М.Н. Герке. Микроэлектроника 37, 200 (2008)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.