Вышедшие номера
Диффузия Sn по чистым поверхностям кремния
Долбак А.Е.1, Ольшанецкий Б.З.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Email: olshan@isp.nsc.ru
Поступила в редакцию: 14 октября 2009 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2010 г.

Методами электронной Оже-спектроскопии и дифракции медленных электронов изучена диффузия Sn по поверхностям кремния (111), (100) и (110). Установлен механизм диффузии и получены температурные зависимости коэффициентов диффузии. Работа выполнена при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (проект N 07-02-00274).