Вышедшие номера
Home » Физика твердого тела » Год 2010, выпуск 6 » Статья стр. 1060
<<<>>>
Связанные с водой ловушки носителей заряда в термических пленках диоксида кремния, полученных в сухом кислороде
Емельянов А.М.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: Emelyanov@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 14 сентября 2009 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2010 г.
PDF версия
Методом лавинной инжекции электронов и дырок из кремния в сочетании с измерениями вольт-фарадных и вольт-амперных характеристик тока фотоинжекции электронов из контактов исследованы параметры ловушек электронов и дырок в термических пленках SiO2, полученных в сухом кислороде. Варьировались условия окисления, отжига и хранения структур. Получены подтверждения предложенных автором модельных представлений о связанных с водой ловушках в таких пленках. Обнаружена зависимость транспортных характеристик ловушек от времени контакта Si-SiO2-структур с атмосферным воздухом естественной влажности. Результаты могут быть применены для уменьшения деградационных процессов в приборах на основе Si-SiO2-структур, при разработке технологий электролюминесцентных приборов на основе Si-SiO2-структур, изучении транспортных характеристик некоторых молекул (например, воды), атомов и ионов в порах (структурных каналах), размеры которых сопоставимы с размерами молекул воды. Работа частично поддержана НИИ "Электрон".
  1. J.F. Chen, S.-Y. Chen, K.-M. Wu, C.M. Liu. Appl. Phys. Lett. 93, 223 504 (2008)
  2. W. Goes, M. Karner, V. Sverdlov, T. Grasser. IEEE Proc. of 15th IPFA-2008. Singapore (2008). P. 249
  3. A. Kanjilal, L. Rebohle, W. Skorupa, M. Helm. Appl. Phys. Lett. 94, 101 916 (2009)
  4. J.M. Sun, W. Skorupa, T. Dekorsy, M. Helm, A.M. Nazarov. Opt. Mater. 27, 1050 (2005)
  5. L. Rebohle, J. Lehmann, S. Prucnal, A. Kanjilal, A. Nazarov, I. Tyagulskii, W. Skorupa, M. Helm. Appl. Phys. Lett. 93, 071 908 (2008)
  6. J.M. Sun, W. Skorupa, T. Dekorsy, M. Helm, L. Rebohle, T. Gebel. J. Appl. Phys. 97, 123 513 (2005)
  7. J.M. Sun, S. Prucnal, W. Skorupa, T. Dekorsy, A. Mucklich, M. Helm, L. Rebohle, T. Gebel. J. Appl. Phys. 99, 103 102 (2006)
  8. J.M. Sun, S. Prucnal, W. Skorupa, M. Helm, L. Rebohle, T. Gebel. Appl. Phys. Lett. 89, 091 908 (2006)
  9. А.М. Емельянов, В.В. Голубев. ФТП 28, 2086 (1994)
  10. C. Benson, A. Albadri, M.J. Joyce, R.A. Price. J. Appl. Phys. 100, 044 505 (2006)
  11. М.С. Дунаевский, А.Н. Титков, С.Ю. Ларкин, А.Б. Спешилова, С.Е. Александров. C. Bonafos, A. Claverie, R. Laho. Письма в ЖТФ 33, 20, 80 (2007)
  12. А.М. Емельянов, В.Г. Коссов, В.В. Голубев, Г.О. Карапетян. Поверхность. Физика, химия, механика 2, 77 (1988)
  13. А.М. Емельянов. Поверхность. Физика, химия, механика 6, 153 (1991)
  14. А.М. Емельянов. Микроэлектроника 15, 434 (1986)
  15. А.М. Емельянов, С.П. Патракеев, В.Г. Коссов. Электрон. техника. Сер. 4. Электровакуумные и газоразрядные приборы 4, 17 (1991)
  16. В.А. Гуртов. Основы физики структур металл--диэлектрик--полупроводник. ПГУ, Петрозаводск (1983). 92 с
  17. R.J. Powell. IEEE Trans. Nucl. Sci. NS-17, 41 (1970)
  18. R.J. Powell, C.N. Berglund. J. Appl. Phys. 42, 4390 (1971)
  19. В.Я. Антонченко. Микроскопическая теория воды в порах мембран. Наук. думка, Киев (1986). 128 с
  20. Н.В. Румак. Система кремний--двуокись кремния в МОП-структурах. Наука и техника, Минск (1986). 240 с
  21. A.G. Revesz, H.A. Schaeffer. J. Electrochem. Soc. 129, 357 (1982)
  22. A.G. Revesz, B.J. Mrstik, H.L. Hughes, D. McCarthy. J. Electrochem. Soc. 133, 586 (1986)
  23. A.G. Revesz. Phys. Status Solidi A 57, 657 (1980)
  24. A.G. Revesz. Phys. Status Solidi A 57, 235 (1980)
  25. В.С. Герасименко, А.Ю. Посудиевский. УФЖ 26, 2030 (1981)
  26. Т.Н. Василевская, Т.В. Антропова. ФТТ 51, 2386 (2009)
  27. H.S. Withan, P.M. Lenahan. Appl. Phys. Lett. 51, 1007 (1987)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme