Определение структурных параметров градиентного эпитаксиального слоя методами высокоразрешающей рентгеновской дифрактометрии. II. Решение обратной задачи в рамках кинематической и статистической динамической теории дифракции
Пунегов В.И.1, Павлов К.М.1, Подоров С.Г.1, Фалеев Н.Н.1
1Сыктывкарский государственный университет им. Питирима Сорокина, Сыктывкар, Россия
Поступила в редакцию: 28 марта 1995 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1995 г.
Экспериментальные результаты высокоразрешающей двух- и трехкристальной дифрактометрии использованы для решения обратной задачи рентгеновской дифракции на градиентной гетероэпитаксиальной системе AlGaAs/(001)GaAs. Два метода, разработанные в рамках кинематического приближения (итерационный расчет) и статистической динамической теории дифракции (методом прямого поиска), лежат в основе решения данной проблемы. В процессе вычислений структурных характеристик неоднородного эпитаксиального слоя использовалось начальное приближение, полученное экспрессными методами рентгенодифракционной диагностики. Проведены расчеты профиля деформаций, а также распределения концентрации и размеров дефектов по глубине градиентного эпитаксиального слоя.
- Пунегов В.И., Фалеев Н.Н. ФТТ. Наст. вып. С. 255
- Гончарский А.В., Колпаков А.В., Степанов А.А. Обратные задачи рентгеновской дифрактометрии. Рига (1992). 181 с
- Подоров С.Г., Пунегов В.И., Кусиков В.А. ФТТ 36, \it 3, 827 (1994)
- Колпаков А.В., Пунегов В.И. Поверхность, 3, 82 (1988)
- Punegov V.I., Petrakov A.P., Tikhonov N.A. Phys. Stat. Sol. (a) 122, \it 2, 449 (1990)
- Kato N. Acta Cryst. A36, 5, 763, 770 (1980)
- Taupin D. Bull. Soc. Franc. Miner. Crist. 87, 469 (1964)
- Punegov V.I., Vishnjakov Yu.V. J. Phys. D: Appl. Phys. 28, A184 (1995)
- Гончарский А.В., Колпаков А.В., Степанов А.А. Поверхность, \it 12, 66 (1986)
- Punegov V.I. Phys. Stat. Sol. (a) 136, 1, 9 (1993)
- Пунегов В.И. Письма в ЖТФ 20, 2, 25 (1994)
- Pavlov K.M., Punegov V.I., Faleev N.N. X-ray topography and high resolution diffraction/2nd European Symposium. Berlin / (5--7 September 1994). P.163; Павлов К.М., Пунегов В.И., Фалеев Н.Н. ЖЭТФ 107, \it 6, 1967 (1995)
- Химмельблау Д. Прикладное нелинейное программирование. М. (1975). 534 с
- Holy V. Acta Cryst. A40, 675 (1984)
- Кривоглаз М.А. Дифракция рентгеновских лучей и нейтронов в неидеальных кристаллах. Киев (1983). 408 с
- Афанасьев А.М., Фанченко С.С. ДАН СССР 287, \it 6, 1395 (1986)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
