Издателям
Вышедшие номера
Образование переходов междоузельные атомы--вакансии при имплантации ионов в кристалл
Сугаков В.И.1
1Институт ядерных исследований НАН Украины, Киев, Украина
Email: sugakov@kinr.kiev.ua
Поступила в редакцию: 29 ноября 2010 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2011 г.

Проведено моделирование диффузионного движения внедренных в кристалл атомов и точечных дефектов, созданных облучением, в пространстве за областью проективного пробега. Показано, что за областью пробега ионов возникает сильно обедненная вакансиями область, в конце которой появляется пик вероятности процессов рекомбинации междоузельных атомов с вакансиями, а также пик концентрации комплексов вакансий с внедренными атомами. Определяющую роль играют следующие факторы: 1) созданное облучением общее число атомов в междоузельном положении, включая имплантированные атомы и собственные атомы кристалла, превышает число вакансий, созданных облучением; 2) имеются термодинамически равновесные вакансии; 3) образуются неподвижные комплексы имплантированных атомов с вакансиями. Размеры области с чрезвычайно малой концентрацией вакансий могут намного превышать длину пробега ионов и достигать несколько десятков микрометров. Анализируются возможные проявления эффекта.
  • J.F. Ziegler, J.P. Biersack, U. Littmark. The stoping and ranges of ions in solids. Pergamon, N. Y. (1985)
  • П.В. Павлов, В.И. Пашкин, В.М. Генкин, Г.В. Камаева, В.И. Никитин, Ю.И. Огарков, Г.И. Успенская. ФТТ 15, 2857 (1973)
  • М.И. Гусева. Поверхность 4, 27 (1982)
  • В.Д. Скупов, Д.И. Тетельбаум, Г.В. Шунгуров. Письма в ЖТФ 15, 22, 44 (1989)
  • Zhang Tongle, Ji Chenzgou, Shen Jinghua, Yang Jianhua, Chen Jun, Gao Yuzun, Sun Guin. Nucl. Instrum. Meth. B 50--60, 828 (1991)
  • В.Н. Быков, В.Г. Малынкин, В.С. Хмелевская. Вопр. атом. науки и техники. Сер. Физика радиацион. повреждений и радиацион. материаловедение 3(50), 42 (1989)
  • А.Л. Пивоваров. Металлофизика и новейшие технологии 16, 3 (1994)
  • В.В. Овчинников. УФН 178, 993 (2008)
  • В.И. Сугаков. Ядер. физика и энергетика 10, 395 (2009)
  • F. Zielinskii, J.M. Constantini, J. Haussy, F. Durbin. J. Nucl. Mater. 312, 141 (2003)
  • A. Debelle, M.F. Barthe, T. Sauvage, R. Belamhawal, A. Chelgoum, P. Desgardin, H. Labrim. J. Nucl. Mater. 362, 181 (2003)
  • В.Ф. Зеленский, И.М. Неклюдов, Т.П. Черняева. Радиационные дефекты и распухание металлов. Наук. думка, Киев (1988). 294 с
  • K. Morishita, R. Sugano, B.D. Wirth, T. Diaz de la Rubia. Nucl. Instrum Meth. B 202, 76 (2003)
  • Donghua Xu, B.D. Wirth. J. Nucl. Mater. 403, 184 (2010)
  • M.H. Yoo, L.K. Mansur. J. Nucl. Mater. 62, 282 (1976)
  • В.В. Ганн, А.В. Волобуев. Вопр. атом. науки и техники. Сер. Физика радиацион. повреждений и радиацион. материаловедение 2(7), 17 (1978)
  • И.Ю. Голиней, В.В. Степкова. Ядер. физика и энергетика 10, 71 (2009)
  • В.С. Хмелевская, В.Г. Малынкин, С.П. Соловьев, Н. Ислам, К.О. Базалеева. Письма в ЖТФ 22, 5, 9 (1996)
  • V.S. Khmelevskaya, V.G. Malynkin. Phase Trans. 60, 59 (1997)
  • А.А. Гроза, П.Г. Литовченко, М.И. Старчик, В.И. Хиврич, Г.Г. Шматко, В.И. Варнина. Ядер. физика и энергетика 11, 66 (2010)
  • В.Л. Иденбом. Письма в ЖТФ 5, 8, 489 (1979)
  • M.J. Baldwin, R.P. Doerner. J. Nucl. Mater. 404, 165 (2010)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.