Издателям
Вышедшие номера
Электронный парамагнитный резонанс технологических покрытий из карбида кремния
Калабухова Е.Н., Лукин С.Н., Сергеев О.Т.
Выставление онлайн: 20 января 1993 г.

Методом электронного парамагнитного резонанса (ЭПР) высокого разрешения (nu=140 ГГц) проведено сравнительное исследование порошкообразных образцов, приготовленных из монокристаллов 6HSiC, технического порошка, синтезируемого в промышленности, и порошка из покрытия, полученного в лабораторных условиях. Анализ вида спектра ЭПР позволяет сделать вывод о политипном и примесном составе порошка, концентрации в нем основной примеси и степени его компенсации. Показано, что лабораторное покрытие позволяет создать хорошие условия для получения высококачественных с контролируемым примесным составом эпитаксиальных пленок кремния при использовании технологических изделий с покрытием из карбида кремния.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.