Методами кривых дифракционного отражения и трехкристальной рентгеновской дифрактометрии исследовано влияние миллисекундного лазерного отжига с различной плотностью энергии на структуру имплантированных бором приповерхностных слоев монокристаллов кремния. С использованием послойного стравливания определены эффективные толщины нарушенного слоя, средние деформации, тип дефектов структуры и факторы аморфизации.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.