Издателям
Вышедшие номера
Электрические свойства пластически деформированного кремния при взаимодействии с примесью железа
Феклисова О.В.1, Якимов Е.Б.1
1Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, Черноголовка, Московская обл., Россия
Email: yakimov@iptm.ru
Поступила в редакцию: 3 сентября 2010 г.
Выставление онлайн: 22 мая 2011 г.

Методами растровой электронной микроскопии и нестационарной спектроскопии глубоких уровней исследовано изменение рекомбинационных свойств пластически деформированного кремния в результате взаимодействия с примесью железа, введенной посредством диффузии при 1000oC. Обнаружено увеличение рекомбинационной активности дислокаций и плоскостей скольжения за дислокациями вследствие ускоренного образования на этих дефектах преципитатов железа. Из измерений наведенного электронным пучком тока проведены оценки концентрации и рассчитаны размеры образующихся преципитатов, которые достигали нескольких сотен нанометров. Работа поддержана Российским фондом фундаментальных исследований (грант N 10-02-00300-а).
  • K. Graff. Metal impurities in silicon-device fabrication. Springer, Berlin (1995). 216 p
  • A.A. Istratov, H. Hieslmair, E.R. Weber. Appl. Phys. A 69, 13 (1999)
  • B.L. Sopori. Mater. Sci. Forum 258--263, 527 (1997)
  • J. Bailey, E.R. Weber. Phys. Status Solidi A 137, 515 (1993)
  • H. Feichtinger, A. Gschwandtner, J. Waltl. Phys. Status Solidi A 53, K71 (1979)
  • В.Б. Воронков, А.А. Лебедев, А.Т. Мамадалимов, Б.М. Урунбаев, Т.А. Усманов. ФТП 14, 2050 (1980)
  • H. Lemke. Phys. Status Solidi A 64, 215 (1981)
  • K. Wunstel, P. Wagner. Appl. Phys. A 27, 207 (1982)
  • S.D. Brotherton, P. Bradley, A. Gill. J. Appl. Phys. 57, 1941 (1985)
  • O.V. Feklisova, E.B. Yakimov, N. Yarykin, B. Pichand. J. Phys.: Cond. Matter 16, S201 (2004)
  • M. Acciarri, S. Binetti, O.V. Feklisova, E.A. Steinman, E.B. Yakimov. Solid State Phenom. 95--96, 453 (2004)
  • O.V. Feklisova, E.B. Yakimov. Phys. Status Solidi C 4, 8, 3105 (2007)
  • C. Donolato. Semicond. Sci. Technol. 7, 37 (1992)
  • E.R. Weber. Appl. Phys. A 30, 1 (1983)
  • I.E. Bondarenko, V.G. Eremenko, V.I. Nikitenko, E.B. Yakimov. Phys. Status Solidi A 60, 341 (1980)
  • K. Schmalz, F.G. Kirscht, S. Niese, H. Richter. M. Kittler, W. Seifert, I. Babanskaya, H. Klose, K. Tittelbach-Helmrich, J. Schoneich. Phys. Status Solidi A 100, 69 (1987)
  • M. Hourai, K. Murakami, T. Shigematsu, N. Fujino, T. Shiraiwa. Jpn. J. Appl. Phys. 28, 2413 (1989)
  • O.V. Feklisova, B. Pichaud, E.B. Yakimov. Phys. Status Solidi A 202, 5, 896 (2005)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.