Издателям
Вышедшие номера
Особенности глубинных профилей распределения имплантированных ионов кобальта в рутиле TiO2
Ачкеев А.А.1, Хайбуллин Р.И.1,2, Тагиров Л.Р.1,2, Mackova A.3,4, Hnatowicz V.3, Cherkashin N.5
1Казанский (Приволжский) федеральный университет, Казань, Россия
2Казанский физико-технический институт им. Е.К. Завойского, ФИЦ Казанский научный центр РАН, Казань, Россия
3Nuclear Physics Institute, Academy of Sciences of the Czech Republic, Rez, Czech Republic
4Department of Physics, Faculty of Science, J.E. Purkinje University, Usti nad Labem, Czech Republic
5CEMES--CNRS, Universite de Toulouse, Toulouse, France
Email: fermion@list.ru
Поступила в редакцию: 8 июля 2010 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2011 г.

Представлены результаты расчетов глубинных профилей распределения концентрации примеси, имплантированной в анизотропный кристаллический материал. Учтены распыление облучаемого материала, быстрая одномерная диффузия примеси вдоль структурного канала и накопление внедряемой примеси на разных глубинах. Результаты расчетов сравниваются с экспериментальными профилями распределения ионов кобальта, имплантированных в кристаллическую структуру рутила (TiO2) как вдоль, так и поперек структурного канала при различных температурах облучаемой подложки. Из сравнения модельных профилей с экспериментальными оценены скорости осаждения кобальта в матрице TiO2 на различных центрах преципитации. На основе построенной модели объясняется необычное движение пика концентрационного распределения имплантированных ионов в глубь образца с повышением температуры облучаемой подложки. Модель позволяет разделить вклады от разных фаз примеси, наночастиц и твердого раствора, в магнетизм системы Co : TiO2. Работа поддержана РФФИ (грант N 10-02-01130) и Министерством образования и науки РФ (госконтракт N П902) в рамках ФЦП "Научные и научно-педагогические кадры инновационной России 2009-2013". Двое из авторов (A.M. и V.H.) благодарят за поддержку Министерство образования, молодежи и спорта Чешской Республики в рамках проекта LC06041, а также Чешское агентство субсидирования науки (грант N 106/09/0125).
  • Х. Риссел, И. Руге. Ионная имплантация. Наука, М. (1983). 386 с
  • Ф.Ф. Комаров, А.Ф. Комаров. Физические процессы при ионной имплантации в твердые тела. Технопринт, Минск (2001). 392 с
  • N. Theodoropoulou, A.F. Hebard, S.N.G. Chu, M.E. Overberg, C.R. Abernathy, S.J. Pearton, R.G. Wilson, J.M. Zavada. J. Appl. Phys. 91, 7499 (2002)
  • S.J. Pearton, C.R. Abernathy, D.P. Norton, A.F. Hebard, Y.D. Park, L.A. Boatner, J.D. Budai. Mater. Sci. Eng. 40, 137 (2003)
  • K. Potzger, Sh. Zhou. Phys. Status Solidi. B 246, 1147 (2009)
  • D.C. Cronemeyer. Phys. Rev. 87, 876 (1952)
  • Y. Matsumoto, M. Murakami, T. Shono, T. Hasegawa, T. Fukumura, M. Kawasaki, P. Ahmet, T. Chikyow, S. Koshihara, H. Koinuma. Science 291, 854 (2001)
  • V. Shutthanandan, S. Thevuthasan, S.M. Heald, T. Droubay, M.H. Engelhard, T.C. Kaspar, D.E. McCready, L. Saraf, S.A. Chambers, B.S. Mun, N. Hamdan, P. Nachimuthu, B. Taylor, R.P. Sears, B. Sinkovic. Appl. Phys. Lett. 84, 4466 (2004)
  • R.I. Khaibullin, L.R. Tagirov, B.Z. Rameev, Sh.Z. Ibragimov, F. Yildiz, B. Aktas. J. Phys.: Cond. Mater 16, L 443 (2004)
  • R. Janisch, P. Gopal, N.A. Spaldin. J. Phys.: Cond. Mater 17, R 657 (2005)
  • S.A. Chambers. Surf. Sci. Rep. 61, 345 (2006)
  • Минералы. Справочник / Под ред. Ф.В. Чухрова. Наука, М. (1965). 445 с
  • J. Sasaki, N.L. Peterson, K. Hoshino. J. Phys. Chem. Solids 46, 1267 (1985)
  • R.I. Khaibullin, Sh.Z. Ibragimov, L.R. Tagirov, V.N. Popok, I.B. Khaibullin. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 257, 369 (2007)
  • N. Akdogan, A. Nefedov, H. Zabel, K. Westerholt, H.W. Becker, C. Somsen, S. Gok, A. Bashir, R.I. Khaibullin, L.R. Tagirov. J. Phys. D: Appl. Phys. 42, 115 005 (2009)
  • J.F. Ziegler, J.P. Biersak, U. Littmark. The stopping and range of ions in solids. Pergamon, N.Y. (1996). 192 p
  • W. Moller, W. Eckstein. Nucl. Instrum. Meth. B 2, 814 (1984)
  • V.M. Konoplev. Rad. Eff. Lett. 87, 207 (1986)
  • Б.М. Будак, А.А. Самарский, А.Н. Тихонов. Сборник задач по математической физике. Наука, М. (1972). 687 с
  • П.В. Павлов, Е.И. Зорин, Д.И. Тетельбаум, В.П. Лесников, Г.М. Рыжков, А.В. Павлов. Образование нитрида алюминия, изменение электропроводности и распыление алюминиевых пленок при бомбардировке ионами азота. Материалы науч. конф. Горьк. ун-т им. Н.И. Лобачевского, Горький (1972). С. 169
  • Р.И. Хайбуллин, Л.Р. Тагиров, Ш.З. Ибрагимов, В.Ф. Валеев, В.И. Нуждин, Ю.Н. Осин, А.А. Ачкеев, И.А. Файзрахманов, Н.А. Черкашин. Учен. зап. Казан. гос. ун-та. Сер. физ.-мат. науки 149, 3, 31 (2007)
  • Р.И. Хайбуллин, Л.Р. Тагиров, В.В. Базаров, Ш.З. Ибрагимов, И.А. Файзрахманов. Способ получения ферромагнитного полупроводникового материала. Патент РФ на изобретение N 2361320 (2009). БИ N 19
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.