Влияние обработки в плазме (O2,H2) на структуру и физические свойства пленок SnOx
Бейсенханов Н.Б.1
1Физико-технический институт Министерства образования и науки Республики Казахстан, Алма-Ата, Казахстан
Email: beisen@sci.kz
Поступила в редакцию: 18 мая 2010 г.
Выставление онлайн: 20 января 2011 г.
Рассмотрено влияние обработки водородной и кислородной плазмой тлеющего разряда на структурные и оптические свойства пленок SnOx толщиной 270-350 nm, полученных магнетронным распылением и золь-гель-методом на стеклянной подложке. Показано сегрегирующее и разрушающее воздействие плазмы на структуру кристаллитов и прозрачность пленок, а также на их пористость. Выявлена принципиальная возможность получения посредством обработки в водородной плазме тлеющего разряда кристаллоаморфных наноструктур, в которых качественные нанокристаллы оксидов олова чередуются с кластерами оксидов олова. Работа поддержана Комитетом науки Министерства образования и науки Республики Казахстан: "Исследование физических процессов формирования нанообъектов и наноструктур на поверхности и границах раздела различных материалов для создания приборных структур широкого диапазона применений" (ГР 0109РК00887, шифр Ф0500, 2009-2011 гг.).
- A.S. Bakin, M.V. Bastaev, D.Tz. Dimitrov, V.A. Moshnikov, Yu.M. Tairov. Thin Solid Films 296, 168 (1997)
- R. Srivastava, R. Dwivedi, S.K. Srivastava. Physics of semiconductor devices. Narosa Publishing House, New Delhi, India (1998). 526 p
- J.C. Jiang, K. Lian, E.I. Meletis. Thin Solid Films 411, 203 (2002)
- R. Srivastava, R. Dwivedi, S.K. Srivastava. Microelectron. J. 29, 833 (1998)
- T. Minami, H. Sato, H. Nanto, S. Takata. Thin Solid Films 176, 277 (1989)
- D.M. Mukhamedshina, N.B. Beisenkhanov, K.A. Mit', I.V. Valitova, V.A. Botvin. Thin Solid Films 495, 316 (2006)
- B.N. Mukashev, S.Zh. Tokmoldin, N.B. Beisenkhanov, S.M. Kikkarin, I.V. Valitova, V.B. Glazman, A.B. Aimagambetov, E.A. Dmitrieva, B.M. Veremenithev. Mater. Sci. Eng. B 118, 1--3, 164 (2005)
- Seok-Kyun Song. Phys. Rev. B 60, 11 138 (1999)
- I.A. Karapatnitski, K.A. Mit', D.M. Mukhamedshina, N.B. Beisenkhanov. Surf. Coat. Technol. 151--152, 76 (2002)
- D.M. Mukhamedshina, K.A. Mit', N.B. Beisenkhanov, E.A. Dmitriyeva, I.V. Valitova. J. Mater. Sci.: Mater. Electron. 19, 382 (2008).
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук