Издателям
Вышедшие номера
Кинетические свойства тонких пленок ТiN, полученных методом реактивного магнетронного распыления
Солован М.Н.1, Брус В.В.1,2, Марьянчук П.Д.1, Ковалюк Т.Т.1, Rappich J.2, Gluba M.2
1Черновицкий национальный университет им. Ю. Федьковича, Черновцы, Украина
2Helmholtz-Zentrum Berlin fur Materialien und Energie GmbH, Berlin, Germany
Email: solovan-86@mail.ru
Поступила в редакцию: 23 апреля 2013 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2013 г.

Представлены результаты исследований кинетических свойств тонких пленок TiN, полученных методом реактивного магнетронного распыления на постоянном токе. Установлено, что тонкие пленки ТiN являются поликристаллическими и обладают полупроводниковым n-типом проводимости. Концентрация носителей заряда составляет ~1022 cm-3, а рассеяние электронов происходит на ионизированных атомах титана.
  • G. Gagnon, J.F. Currie, C. Beique, J.L. Brebner, S.G. Gujrathi, L. Onllet. J. Appl. Phys. 75, 1565 (1994)
  • Р.А. Андриевский, З.М. Дашевский, Г.В. Калинников. Письма в ЖТФ 30, 22, 1 (2004)
  • M.S.R.N. Kiran, M. Ghanashyam Krishna, K.A. Padmanabhan. Appl. Surf. Sci. 255, 1934 (2008)
  • M. Tao, D. Udeshi, S. Agarwal, E. Maldonado, W.P. Kirk. Solid State Electron. 48, 335 (2004)
  • М.Н. Солован, В.В. Брус, П.Д. Марьянчук. ФТП, в печати (2013)
  • G.B. Smith, A. Ben-David, P.D. Swift. Renew. Energy 22, 79 (2001)
  • F. Vaz, P. Cerqueira, L. Rebouta, S.M.C. Nascimento, E. Alves, Ph. Goudeau, J.P. Riviere, K. Pischow, J. de Rijk. Thin Solid Films 447--448, 449 (2004)
  • K.H. Chung, G.T. Liu, J.G. Duh, J.H. Wang. Surf. Coat. Technol. 188--189, 745 (2004)
  • W. Franks, I. Schenker, P. Schmutz, A. Hierlemann. IEEE Trans. Biomed. Eng. 52, 1295 (2005)
  • Y.L. Jeyachandran, Sa.K. Narayandass, D. Mangalaraj, Sami Areva, J.A. Mielczarski. Mater. Sci. Eng. A 445--446, 223 (2007)
  • L. Escobar-Alarcon, E. Camps, M.A. Castro, S. Muhl, J.A. Mejia-Hernandez. Appl. Phys. A 81, 1221 (2005)
  • Gaoling Zhao, Tianbo Zhang, Tao Zhang, Jianxun Wang, Gaorong Han. J. Non-Cryst. Solids 354, 1272 (2008)
  • Г.В. Самсонов. Нитриды. Наук. думка, Киев (1969). 350 с
  • М.Н. Солован, П.Д. Марьянчук, В.В. Брус. Восточно-европейский журн. передовых технологий 6/12, 34 (2012)
  • V.V. Brus, M.I. Ilashchuk, Z.D. Kovalyuk, P.D. Maryanchuk, K.S. Ulyanytskiy. Semicond. Sci. Technol. 26, 125 006 (2011)
  • V.V. Brus. Solar Energy 86, 1600 (2012).
  • J.A. Thornton. J. Vac. Sci. Technol. A 4/6, 3059 (1986)
  • A. Trenczek-Zajac, M. Radecka, K. Zakrzewska, A. Brudnik, E. Kusior, S. Bourgeois, M.C. Marco de Lucas, L. Imhoff. J. Power Sources 194, 93 (2009)
  • M. Stoehr, C.-S. Shin, I. Petrov, J.E. Greene. J. Appl. Phys. 110, 083 503 (2011)
  • W. Moller, R. Kaiser, H. Bilz. Phys. Lett. A 32, 171 (1970)
  • C.-S. Shin, D. Gall, N. Hellgren, J. Patscheider, I. Petrov, J.E. Greene. J. Appl. Phys. 93, 6025 (2003)
  • C.-S. Shin, S. Rudenja, D. Gall, N. Hellgren, T.-Y. Lee, I. Petrov, J.E. Greene, J. Appl. Phys. 95, 356 (2004)
  • М.Н. Солован, П.Д. Марьянчук, В.В. Брус, О.А. Парфенюк. Неорган. материалы 48, 1154 (2012)
  • V.V. Brus, M.I. Ilashchuk, Z.D. Kovalyuk, P.D. Maryanchuk. Semicond. Sci. Technol. 27, 055 008 (2012)
  • В.В. Брус, М.И. Илащук, З.Д. Ковалюк, П.Д. Марьянчук, К.С. Ульяницкий, Б.Н. Грицюк. ФТП 45, 1109 (2011)
  • S. Kadelec, J. Musil, J. Vyskocil. Surf. Coat. Technol. 54--55, 287 (1992).
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.