Численное моделирование зависимости постоянной распространения оптического излучения в интегрально-оптическом волноводе, нагруженном тонкой пленкой Pd, от концентрации водорода в атмосфере
Кузнецов И.В.1, Перин А.С.1,2
1Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Томск, Россия
2Институт оптики атмосферы им. В.Е. Зуева Сибирского отделения Российской академии наук, Томск, Россия
Email: igor.v.kuznetsov@tusur.ru
Поступила в редакцию: 15 мая 2025 г.
В окончательной редакции: 2 октября 2025 г.
Принята к печати: 24 октября 2025 г.
Выставление онлайн: 23 декабря 2025 г.
Рассмотрена возможность детектирования водорода с помощью волноводных структур на основе SiN с нанесенной тонкой пленкой Pd на поверхность оболочки. Зависимости постоянной распространения и коэффициента передачи оптической мощности от геометрических параметров конфигурации и концентрации водорода исследованы методами численного моделирования. Ключевые слова: нитрид кремния, водород, фотонный сенсор.
- K. Chen, D. Yuan, Y. Zhao. Optics \& Laser Technology, 137, 106808 (2021). DOI: 10.1016/j.optlastec.2020.106808
- А.М. Минкин, Л.А. Жикина, Н.А. Медведева, М.С. Котлячков. Прикладная фотоника, 10 (2), 25 (2023)
- Y.S.H. Najjar, S. Mashareh. Biomedical J. Scientific \& Technical Research, 21 (5), 16228 (2019). DOI: 10.26717/BJSTR.2019.21.003670
- K. Schroeder, W. Ecke, R. Willsch. Optics and Lasers in Engineering, 47 (10), 1018 (2009). DOI: 10.1016/j.optlaseng.2009.04.002
- X. Bevenot, A. Trouillet, C. Veillas, H. Gagnaire, M. Clement. Sensors and Actuators. B: Chemical, 67 (1-2), 57 (2000). DOI: 10.1016/S0925-4005(00)00407-X
- B.J. Luff, J.S. Wilkinson, J. Piehler, U. Hollenbach, J. Ingenhoff, N. Fabricius. J. Lightwave Technology, 16 (4), 583 (1998)
- P.E. Ciddor. Appl. Opt., 35 (9), 1566 (1996). DOI: 10.1364/AO.35.001566
- E.R. Peck, S. Huang. J. Optical Society of America, 67 (11), 1550 (1977). DOI: 10.1364/JOSA.67.001550
- I.H. Malitson. J. Optical Society of America, 55 (10), 1205 (1965). DOI: 10.1364/JOSA.55.001205
- K. Luke, Y. Okawachi, M.R. Lamont, A.L. Gaeta, M. Lipson. Opt. Lett., 40 (21), 4823 (2015). DOI: 10.1364/OL.40.004823
- K.J. Palm, J.B. Murray, N.C. Narayan, J.N. Munday. Acs Photonics, 5 (11), 4677 (2018). DOI: 10.1021/acsphotonics.8b01243
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.