Вышедшие номера
Home » Оптика и спектроскопия » Год 2025, выпуск 9 » Статья стр. 957
<<<>>>
Разработка технологии создания фотонных интегральных схем с кольцевыми микрорезонаторами на основе структур Si/SiO2/Si3N4
Российский научный фонд, № 23-91-06308
Министерство науки и высшего образования РФ , FNRM-2025-0014
Абанин А.И.1,2,3, Рязанов Р.М.1, Голиков А.Д.4,5, Ковалюк В.В.4,6, Венедиктов И.О.4,6, Ан П.П.4,5, Шимловская Д.А.7, Кицюк Е.П.1, Косолобов С.С.7, Лазаренко П.И.3, Гольцман Г.Н.6,8, Светухин В.В.1
1Научно-производственный комплекс "Технологический центр", Москва, Россия
2Ульяновский государственный университет, Ульяновск, Россия
3Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Зеленоград, Москва, Россия
4Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия
5Московский Педагогический Государственный Университет, Москва, Россия
6Высшая школа экономики, Москва, Россия
7Сколковский институт науки и технологий, Москва, Россия
8Российский квантовый центр, Москва, Россия
Email: aai-2000@mail.ru
Поступила в редакцию: 6 июня 2025 г.
В окончательной редакции: 9 сентября 2025 г.
Принята к печати: 10 сентября 2025 г.
Выставление онлайн: 5 ноября 2025 г.
PDF версия
Развитие современных систем обработки информации ограничивается быстродействием электронных схем. Реализация высокоскоростной обработки информации следующего поколения становится крайне сложной задачей при использовании традиционной электронной компонентной базы. Одним из вариантов решения данной проблемы является переход к созданию систем на основе фотонных интегральных схем. В работе представлены результаты изготовления высокодобротных кольцевых микрорезонаторов из нитрида кремния. Для изготовления оптических устройств использовались структуры Si/SiO2/Si3N4, сформированные с применением производственного оборудования НПК "Технологический центр". Исследованы зависимости оптических параметров структур от технологических режимов формирования нитрида кремния и применения дополнительного высокотемпературного отжига. Продемонстрированы образцы кольцевых резонаторов с добротностью >105 при радиусе кольца ~64 μm. Ключевые слова: нитрид кремния, кольцевой микрорезонатор, LPCVD, добротность.
  1. J. Capmany et al. Nat. Phot., 1 (6), 319 (2007). DOI: 10.1038/nphoton.2007.89
  2. Y. Jiao. Master Thesis Work (Polytechnic University of Catalonia (UPC), B., (2015). URL: https://upcommons.upc.edu/entities/publication/37edf1c3-5098-4550-b081-07785d69cf98
  3. R.C. Williamson, R.D. Esman. J. Lightw. Technol., 26 (9), 1145 (2008). DOI: 10.1109/JLT.2008.923627
  4. J.P. Yao. J. Lightw. Technol., 27 (3), 314 (2009). DOI: 10.1109/JLT.2008.2009551
  5. K.A. Williams, E.A.J.M. Bente, D. Heiss, Y. Jiao, K. awniczuk, X.J.M. Leijtens, J.J.G.M. van der Tol, M.K. Smit. Photon. Res., 3 (5), B60 (2015). DOI: 10.1364/PRJ.3.000B60
  6. M. Smit et al. Semiconductor Science and Technol., 29 (083001), 1 (2014). DOI: 10.1088/0268-1242/29/8/08300
  7. J. Liu, A.S. Raja, M. Karpov, B. Ghadiani, M.H.P. Pfeiffer, B. Du, N.J. Engelsen, H. Guo, M. Zervas, T.J. Kippenberg. Opt., 5 (10), 1347 (2018). DOI: 10.1364/OPTICA.5.001347
  8. Y.Z. Twayana, K. Andrekson, V.T. Company. Opt. Express, 27 (24), 35719 (2019). DOI: 10.1364/OE.27.035719
  9. H.E. Dirani, L. Youssef, C. Petit-Etienne, S. Kerdiles, P. Grosse, C. Monat, E. Pargon, C. Sciancalepore. Opt. Express, 27 (21), 30726 (2019). DOI: 10.1364/OE.27.030726
  10. Q. Li, M. Davanсo, K. Srinivasan. Nat. Photonics, 10, 406 (2016). DOI: 10.1038/nphoton.2016.64
  11. X. Lu, G. Moille, Q. Li et al. Nat. Photonics, 13 (9), 593 (2019). DOI: 10.1038/s41566-019-0464-9
  12. Y. Xuan et al. Opt., 3 (11), 1171 (2016). DOI: 10.1364/OPTICA.3.001171
  13. X. Ji et al. Opt., 4 (6), 619 (2017). DOI: 10.1364/OPTICA.4.000619
  14. И.В. Ивашенцева, И.В. Третьяков, Н.С. Каурова, А.Д. Голиков, Г.Н. Гольцман. Опт. и спектр., 132 (10), 1076--1086 (2024). DOI: 10.61011/OS.2024.10.59423.7024-24
  15. S. Xiao, M.H. Khan, H. Shen, M. Qi. J. Lightw. Technol., 26 (2), 228 (2008). DOI: 10.1109/JLT.2007.911098
  16. A. Densmore, D. Xu, P. Waldron, S. Janz, P. Cheben, J. Lapointe, A. Del\^age, B. Lamontagne, J.H. Schmid, E. Post. IEEE Phot. Technol. Lett., 18 (23), 2520 (2006). DOI: 10.1109/LPT.2006.887374
  17. S.K. Selvaraja, P. Jaenen, W. Bogaerts, D. van Thourhout, P. Dumon, R. Baets. J. Lightw. Technol., 27 (18), 4076 (2009). DOI: 10.1109/JLT.2009.2022282
  18. A. Nikitin, A. Ustinov. ЖТФ, 94 (8), 1382--1390 (2024). DOI: 10.61011/JTF.2024.08.58567.72-24
  19. В.А. Киселевский, К.А. Фетисенкова, А.А. Татаринцев, А.Е. Мельников, О.Г. Глаз. Опт. и спектр., 133 (3), 292--298 (2025). DOI: 10.61011/OS.2025.03.60246.2-25
  20. С.С. Косолобов, И.А. Пшеничнюк, К.Р. Тазиев, А.К. Земцова, Д.С. Земцов, А.С. Смирнов, Д.М. Жигунов, В.П. Драчев. УФН, 194, 1223--1239 (2024). DOI: 10.3367/UFNr.2024.09.039762
  21. P. An et al. Journal of Physics: Conference Series, 1124, 51047 (2018). DOI: 10.1088/1742-6596/1124/5/051047
  22. H. El Dirani, L. Youssef, C. Petit-Etienne et al. Opt. Express, 27, 30726--30740 (2019). DOI: 10.1364/OE.27.030726
  23. A. Chhoker et al. ChemistrySelect, 10 (2025). DOI: 10.1002/slct.202404474
  24. D.T. Spencer, J.F. Bauters, M.J.R. Heck, J.E. Bowers. Optica, 1, 153 (2014). DOI: 10.1364/OPTICA.1.000153
  25. W. Jin, Q.-F. Yang, L. Chang, B. Shen, H. Wang, M.A. Leal, L. Wu, M. Gao, A. Feshali, M. Paniccia, K.J. Vahala, J.E. Bowers. Nat. Photonics, 15, 346--353 (2021). DOI: 10.1038/s41566-021-00761-7
  26. X. Ji, F.A.S. Barbosa, S.P. Roberts, A. Dutt, J. Cardenas, Y. Okawachi, A. Bryant, A.L. Gaeta, M. Lipson. Optica, 4, 619--624 (2017). DOI: 10.1364/OPTICA.4.000619
  27. H.El. Dirani, L. Youssef, C. Petit-Etienne, S. Kerdiles, P. Grosse, C. Monat, E. Pargon, C. Sciancalepore. Opt. Express, 27, 30726--30740 (2019). DOI: 10.1364/OE.27.030726
  28. M.H.P. Pfeiffer, J. Liu, A.S. Raja, T. Morais, B. Ghadiani, T.J. Kippenberg. Optica, 5, 884 (2018). DOI: 10.1364/OPTICA.5.000884
  29. X. Ji, J.K. Jang, U.D. Dave, M. Corato-Zanarella, C. Joshi, A.L. Gaeta, M. Lipson. Laser Photonics Rev., 15, 2000353 (2021). DOI: 10.48550/arXiv.2012.04191
  30. Li Q et al. Opt. Express, 21, 18236--18248 (2013). DOI: 10.1364/OE.21.018236
  31. Zhichao Ye, et al. Opt. Express, 27, 35719--35727 (2019). DOI: 10.48550/arXiv.1909.10251
  32. Shuai Wan, Rui Niu, Jin-Lan Peng, Jin Li, Guang-Can Guo, Chang-Ling Zou, Chun-Hua Dong. Chin. Opt. Lett., 20, 032201 (2022). DOI: 10.3788/COL202220.032201
  33. S. Cui et al. arXiv:2209.01097 (2022). DOI: 10.48550/arXiv.2209.01097

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme