Оптика и спектроскопия
Авторам
Вышедшие номера
- 2025
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
Исследование влияния давления и электрического поля на эмиссию материала и скорость нанесения Al2O3 и ZrO2 в процессе импульсного лазерного осаждения
Васильев М.И.1, Дудник Ю.Д.
1, Сафронов А.А.
1, Ширяев В.Н.
1, Васильева О.Б.
1
1Институт электрофизики и электроэнергетики РАН, Санкт-Петербург, Россия 
Email: milavas@mail.ru, julia_dudnik-s@mail.ru, 9932553@mail.ru
Поступила в редакцию: 20 февраля 2025 г.
В окончательной редакции: 20 февраля 2025 г.
Принята к печати: 12 июля 2025 г.
Выставление онлайн: 5 ноября 2025 г.
Исследовано создание покрытий на стальных подложках из тонких чередующихся слоев, состоящих из оксида алюминия и стабилизированного иттрием оксида циркония в вакуумной камере в атмосфере кислорода при импульсном лазерном осаждении с помощью эксимерного лазера KrF с длиной волны излучения 248 nm. Для увеличения скорости нанесения аблированных частиц между подложкой и мишенью в процессе обработки прикладывалось электрическое поле. Исследовалось влияние электрического поля различной полярности на скорость осаждения при различном давлении кислорода в вакуумной камере. Измерена спектральная интенсивность излучения плазменного факела атомов и ионизованных частиц во время обработки с целью исследования состава частиц в плазменном факеле. Выполнена запись эволюции изображений плазменного факела при различном давлении кислорода в вакуумной камере и проведена их обработка. Ключевые слова: импульсное лазерное осаждение, лазерная абляция, тонкие пленки, плазменный факел, спектры излучения.
- R. Aguiar, V. Trtik, F. Sanchez, C. Ferrater, M. Varela. Thin Solid Films, 304 (1-2), 225-228 (1997). DOI: 10.1016/S0040-6090(97)00201-0
- F. Sanchez, R. Aguiar, P. Serra, M. Varela, J.L. Morenza. Thin Solid Films, 317 (1-2), 108-111 (1998). DOI: 10.1016/S0040-6090(97)00604-4
- C.H. Lei, G. Van, Tendeloo, M. Siegert, J. Schubert, Ch. Buchal. J. Crystal Growth, 222, 558-564 (2001). DOI: 10.1016/S0022-0248(00)00943-X
- Peng Li, Jason Carroll and Jyoti Mazumder. J. Phys. D, 36, 1605-1608 (2003). DOI: 10.1088/0022-3727/36/13/327
- A.P. Caricato, A. Di Cristoforo, M. Fernandez, G. Leggieri, A. Luches, G. Majni, M. Martino, P. Mengucci. Appl. Surf. Sci., 208-209, 615-619 (2003). DOI: 10.1016/S0169-4332(02)01404-6
- A.P. Caricato, G. Barucca, A. Di Cristoforo, G. Leggieri, A. Luches, G. Majni, M. Martino, P. Mengucci. Appl. Surf. Sci., 248 (1-4), 270-275 (2005). DOI: 10.1016/j.apsusc.2005.03.048
- D. Lubben, S.A. Barnett, K. Suzuki, S. Gorbatkin, J.E. Greene. J. Vac. Sci. Technol. B, 3 (4), 968-974 (1985). DOI: 10.1116/1.583024
- S. Witanachchi, H.S. Kwork, X.W. Wang, D.T. Shaw. Appl. Phys. Lett., 53 (3), 234-236 (1988). DOI: 10.1063/1.100585
- R.K. Singh, L. Ganapathi, P. Tiwari, J. Narayan. Appl. Phys. Lett., 55 (22), 2351-2353 (1989). DOI: 10.1063/1.102364
- H. Izumi, K. Ohata, T. Hase, K. Suzuki, T. Morishita, S. Tanaka. J. Appl. Phys., 68 (12), 6331-6335 (1990). DOI: 10.1063/1.346877
- A. Kramida, Yu. Ralchenko, J. Reader, and NIST ASD Team. NIST Atomic Spectra Database (ver. 5.3). Electronic resource. Access mode: http://physics.nist.gov/asd
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
