Параметры стимулированного излучения в Al0.65Ga0.35N : Si/AlN/Al2O3-структуре с планарной геометрией
Работа выполнена в рамках государственного задания Министерства образования и науки РФ. , FWGW–2022–0012
Бохан П.А.
1, Журавлев К.С.
1, Закревский Д.Э.
1,2, Малин Т.В.
1, Фатеев Н.В.
1,31Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
2Новосибирский государственный технический университет, Новосибирск, Россия
3Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
Email: bokhan@isp.nsc.ru, zuravlev@isp.nsc.ru, zakrdm@isp.nsc.ru, mal-tv@isp.nsc.ru, fateev@isp.nsc.ru
Поступила в редакцию: 9 августа 2024 г.
В окончательной редакции: 30 сентября 2024 г.
Принята к печати: 30 сентября 2024 г.
Выставление онлайн: 21 ноября 2024 г.
Экспериментально изучены параметры стимулированного излучения в Al0.65Ga0.35N/AlN/Al2O3-гетероструктуре в широком спектральном диапазон 370-670 nm при комнатной температуре, образующейся при поперечной импульсной накачке излучением с длиной волны 266 nm, длительностью импульсов 8 ns и частотой повторения 10 Hz. Легированная кремнием до концентрации nSi~1.5·1020 cm-3 Al0.65Ga0.35N-пленка толщиной 1.1 μm представляет собой асимметричный планарный волновод, обладающий усилительными свойствами с коэффициентом усиления ~10 cm-1. Квантовая эффективность стимулированного излучения составила eta~18% при величине мощности оптической накачки P_p=100 kW/cm2 и выводом стимулированного излучения через подложку. Спектр излучения состоит из совокупности эквидистантных пиков, каждый из них состоит из суммы двух плоских TE- и TM-волн. Эти волны распространяются зигзагообразно из-за внутреннего отражения на границах структуры. Получена узкая угловая расходимость 5.3o стимулированного излучения в перпендикулярном направлении к плоскости структуры, a в параллельном направлении расходимость составляет 20o. Ключевые слова: сильнолегированные структуры AlxGa1-xN, планарный волновод, оптическое усиление, донорно-акцепторная рекомбинация.
- R. Xu, Q. Kang, Y. Zhang, X. Zhang. Micromachines, 14, 844 (2023). DOI: 10.3390/mi14040844
- P.A. Bokhan, N.V. Fateev, T.V. Malin, I.V. Osinnykh, Dm.E. Zakrevsky, K.S. Zhuravlev. J. Lumin., 203, 127 (2018). DOI: 10.1016/j.jlumin.2018.06.034
- П.А. Бохан, К.С. Журавлев, Д.Э. Закревский, Т.В. Малин, Н.В. Фатеев. ФТП, 57 (9), 731 (2023). DOI: 10.61011/FTP.2023.09.56987.5627
- П.А. Бохан, К.С. Журавлев, Д.Э. Закревский, Т.В. Малин, И.В. Осинных, Н.В. Фатеев. ФТП, 56 (12), 1125 (2022). DOI: 0.21883/FTP.2022.12.54511.4349
- D. Brunner, H. Angerer, E. Bustarret, F. Freudenberg, R. Hopler, R. Dimitrov, O. Ambacher, M. Stutzmann. J. Appl. Phys., 82, 5090 (1997). DOI: 10.1063/1.366309
- А.В. Медведев, А.А. Дукин, Н.А. Феоктистов, В.Г. Голубев. ЖТФ, 86 (5), 118 (2016). DOI: 10.1134/S1063784216050169
- J. Valenta, I. Pelant, K. Luterova, R. Tomasiunas, S. Cheylan, R.G. Elliman, J. Linnros, B. Honerlage. Appl. Phys. Lett., 82 (6), 955 (2003). DOI: 10.1063/1.1544433
- K. Luterova, D. Navarro, M. Cazzanelli, T. Ostatnicky, J. Valenta, S. Cheylan, I. Pelant, L. Pavesi. Phys. Stat. Sol. C, 2 (9), 3429 (2005). DOI 10.1002/pssc.200461206
- H. Kogelnik. IEEE Trans. Microwave Theory Tech., 23 (1), 2 (1975). DOI: 10.1109/TMTT.1975.1128500
- K.S. Zhuravlev, I.V. Osinnykh, D.Y. Protasov, T.V. Malin, V.Yu. Davydov, A.N. Smirnov, R.N. Kyutt, A.V. Spirina, V.I. Solomonov. Phys. Stat. Sol. C, 10, 315 (2013). DOI: 10.1002/pssc.201200703
- B.M. Ayupov, I.A. Zarubin, V.A. Labusov, V.S. Sulyaeva, V.R. Shayapov. J. Opt. Technol., 78, 350 (2011). DOI: 10.1364/JOT.78.000350
- K.L. Shaklee, R.E. Nahory, R.F. Leheny. J. Lumin., 7, 284 (1973). DOI: 10.1016/0022- 2313(73)90072-0
- A. Oster, G. Erbert, H. Wenzel. Electron. Lett., 33, 864 (1997). DOI: 10.1049/el:19970605
- I.H. Malitson. JOSA, 52, 1377 (1962)
- M. Born, E. Wolf. Principles of Optics (Pergamon Press, Oxford, 1975). DOI: 10.1016/0030-3992(75)90061-4
- П.Д. Кухарчик, В.М. Сердюк, И.А. Титовицкий. ЖТФ, 69 (4), 74 (1999)
- А.П. Свиридов. Квант. электрон., 37 (1), 1 (2007). DOI: 10.1070/QE2007v037n01ABEH013309
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.