Импульсный лазерный отжиг кремния, имплантированного ионами марганца
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Госзадание КФТИ
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, двух- и многостороннее научно-технологическое взаимодействие, № 075-15-2023-612
Ковалев М.С.
1, Подлесных И.М.
1, Баталов Р.И.
2, Сцепуро Н.Г.
1, Кудряшов С.И.
11Физический институт им. П.Н. Лебедева Российской академии наук, Москва, Россия
2Казанский физико-технический институт им. Е.К. Завойского, ФИЦ Казанский научный центр РАН, Казань, Россия
Email: i.podlesnykh@lebedev.ru
Поступила в редакцию: 11 декабря 2023 г.
В окончательной редакции: 9 января 2024 г.
Принята к печати: 16 января 2024 г.
Выставление онлайн: 2 апреля 2024 г.
Описана методика импульсного лазерного отжига кремния, предварительно сверхлегированного атомами марганца с помощью ионной имплантации. Подобраны оптимальные режимы лазерного отжига, которые обеспечивали наилучшую кристалличность образцов. Проанализировано влияние импульсного лазерного отжига на некоторые оптические и структурные свойства сверхлегированных кремниевых пластин на основе спектров комбинационного рассеяния, энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии, спектров инфракрасного поглощения в диапазоне волновых чисел от 700 до 1300 cm-1. Ключевые слова: импульсный лазерный отжиг, сверхлегирование, ионная имплантация, кремний, марганец.
- C. Li, J.-H. Zhao, Z.-G. Chen. J. Alloys Compd., 883, 160765 (2021). DOI: 10.1016/j.jallcom.2021.160765
- S. Kudryashov, K. Boldyrev, A. Nastulyavichus, D. Prikhod'ko, S. Tarelkin, D. Kirilenko, P. Brunkov, A. Shakhmin, K. Khamidullin, G. Krasin, M. Kovalev. Opt. Mater. Express, 11 (11), 3792 (2021). DOI: 10.1364/OME.438023
- S. Kudryashov, A. Nastulyavichus, G. Krasin, K. Khamidullin, K.Boldyrev, D. Kirilenko, A. Yachmenev, D. Ponomarev, G. Komandin, S. Lebedev, D. Prikhod'ko, M. Kovalev. Opt. Laser Technol., 158, 108873 (2023). DOI: 10.1016/j.optlastec.2022.108873
- M. Kovalev, A. Nastulyavichus, I. Podlesnykh, N. Stsepuro, V. Pryakhina, E. Greshnyakov, A. Serdobintsev, I. Gritsenko, R. Khmelnitskii, S. Kudryashov. Materials, 16 (12), 4439 (2023). DOI: 10.3390/ma16124439
- В.Н. Абакумов, В.И. Перель, И.Н. Яссиевич. Безызлучательная рекомбинация в полупроводниках (Изд. ФТИ им. Иоффе РАН, 1997)
- M. Bolduc, C. Awo-Affouda, A. Stollenwerk, M.B. Huang, F.G. Ramos, G. Agnello, V.P. LaBella. Phys. Rev. B, 71 (3), 033302 (2005). DOI: 10.1103/PhysRevB.71.033302
- L. Li, D. Burger, A. Shalimov, G.J. Kovacs, H. Schmidt, S. Zhou. J. Phys. D: Appl. Phys., 51 (16), 165304 (2018). DOI: 10.1088/1361-6463/aab5a6
- N. Peng, C. Jeynes, M.J. Bailey, D. Adikaari, V. Stolojan, R.P. Webb. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B, 267 (8-9), 1623-1625 (2009). DOI: 10.1016/j.nimb.2009.01.065
- C. Awo-Affouda, M. Bolduc, V.P. LaBella. J. Vac. Sci. Technol. A, 25 (4), 976-979 (2007). DOI: 10.1116/1.2713117
- M. Naito, R. Yamada, N. Machida, Y. Koshiba, A. Sugimura, T. Aoki, I. Umezu. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B, 365, 110-113 (2015). DOI: 10.1016/j.nimb.2015.07.073
- S. Zhou, K. Potzger, G. Zhang, A. Mcklich, F. Eichhorn, N. Schell, R. Grotzschel, B. Schmidt, W. Skorupa, M. Helm, J. Fassbender, D. Geiger. Phys. Rev. B, 75 (8), 085203 (2007). DOI: 10.1103/PhysRevB.75.085203
- W. Kern. J. Electrochem. Soc., 137, 1887 (1990). DOI: 10.1149/1.2086825
- L. Zarraoa, M.U. Gonzalez, A.S. Paulo. J. Sci. Rep., 9, 16263 (2019). DOI: 10.1038/s41598-019-52690-9
- M. Kovalev, I. Podlesnykh, A. Nastulyavichus, N. Stsepuro, I. Mushkarina, P. Platonov, E. Terukov, S. Abolmasov, A. Dunaev, A. Akhmatkhanov, V. Shur, S. Kudryshov. Materials, 16 (6), 2350 (2023). DOI: 10.3390/ma16062350
- T. OH, C.K. Choi. J. Korean Phys. Soc., 56 (4), 1150-1155 (2010). DOI: 10.3938/jkps.56.1150
- B. Arkles, G.L. Larson. Silicon Compounds: Silanes \& Silicones, 3rd ed. (Gelest Inc., Morrisville, PA 19067, 2013)
- L. Jastrzebski, J. Lagowski, H.C. Gatos. J. Electrochem. Soc., 126 (2), 260 (1979). DOI: 10.1149/1.2129017
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
