Вышедшие номера
Диагностика технологии оксидов титана и гафния методами люминесценции
Булярский С.В. 1, Гусаров Г.Г. 1, Дудин А.А.1, Коива Д.А.1, Литвинова К.И.1
1Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук, Москва, Россия
Email: bulyar2954@mail.ru, geog1@mail.ru, dudin.a@inme-ras.ru, dkoiva616@gmail.com, litkristy@gmail.com
Поступила в редакцию: 5 сентября 2022 г.
В окончательной редакции: 18 ноября 2022 г.
Принята к печати: 14 декабря 2022 г.
Выставление онлайн: 26 января 2023 г.

Показана роль вакансий кислорода в формировании полос люминесценции оксидов титана и гафния, а также продемонстрирована связь интенсивности полос люминесценции с условиями синтеза пленок этих материалов. Сделан вывод, что фотолюминесценция является очень чувствительным методом диагностики состава оксидов. Полосы люминеценции 2.45 eV в оксиде титана и 2.91 eV в оксиде гафния позволяют анализировать изменение состава пленок при различных технологических условиях их получения. Ключевые слова: вакансии кислорода, оксид титана, оксид гафния, фотолюминеценция.