Оптика и спектроскопия
Авторам
Исследование поверхностного слоя, образующегося при обработке кварцевого стекла с помощью механохимического и ионного полирования
Переводная версия: 10.21883/EOS.2022.12.55249.42-22 
Золотарев В.М.1
1Университет ИТМО, Санкт-Петербург, Россия 
Email: vm-zolotarev@mail.ru
Поступила в редакцию: 18 мая 2022 г.
В окончательной редакции: 18 мая 2022 г.
Принята к печати: 1 июня 2022 г.
Выставление онлайн: 19 декабря 2022 г.
Проведены количественные исследования оптических параметров поверхностного слоя, образующегося в процессе полирования кварцевого стекла. Показано, что механизм формирования поверхностного слоя при использовании методов механо-химической и ионной полировки имеет много общего. В обоих случаях появление поверхностного слоя, отличающегося высоким показателем преломления от соответствующих объемных свойств стекла, связано с напряжением и разрывом мостиковых связей Si-O-Si в процессе гидролиза при полировке стекла. Гидролиз связей Si-O-Si связан с образованием групп Si-O и Si-OН, что приводит к увеличению показателя преломления поверхностного слоя. Ключенвые слова: кварцевое стекло, полировка, поверхностный слой, оптические параметры.
- Lord Rayleigh. Proc. Royal Soc. London A, 60, 507 (1937)
- И.В. Гребенщиков. Изв. АН СССР. Секция техн. наук, (1), 3, (1937)
- Н.Н. Качалов. Основы процессов шлифовки и полировки стекла (Изд. АН СССР, М.-Л.,1946)
- А. Адамсон. Физическая химия поверхностей (Мир, Москва, 1979)
- Т.Н. Крылова. ГОИ им. С.И. Вавилова, 45 (179), 47, (1979)
- Э.Я. Гоз, Р.С. Соколова, А.Я. Кузнецов. ОМП, (12), 69 (1969)
- J.G. Smith, J. Hooley. Canadian J. Technol., 31 (2/3), 37 (1973)
- A. Kuller. Silicattechnik, 7 (10), 380 (1956)
- G.O. Rawstron. J. Soc. Glass Technol., 42, 253 (1958)
- H. Komogava. Proc. Phys. Math. Soc. Japan, 8, 384 (1943)
- S. Harada, T. Isumitani. Glass Technol., 12 (5), 131 (1971)
- H. Sakata. Verres Refract, 12 (2), 58 (1973)
- J.P. Mariage. Neuv. Rev. Optique, 6 (2), 121 (1975)
- Y. Yokota, H. Sakata, M. Nishibori, K. Kinosita. Surf. Sci., 16, 265 (1969)
- А.Е. Чмель, В.И. Веттегрень, К.Н. Куксенко. В кн.: Оптические и спектральные свойства стекол (Тез. докл. 3-й Всесоюз. симпоз., ГОИ, Ленинград, 1974), c. 45-46
- В.И. Пшеницын, Н.Х. Холдаров, И.А. Храмцовский, М.А. Калинина, Н.И. Тихомирова. ОМП., (8), 28 (1987)
- В.И. Пшеницын, Г.Т. Петровский, В.Н. Степанчук. В кн.: Неразрушающие физические методы и средства контроля (Тез. докл. 9-й Всесоюз. научно-технич. конф., Минск, 26-28 мая, 1981), с. 161
- H. Fukyo, N. Oura, N. Kitajiama, H. Kono. J. Appl. Phys., 50 (5), 3653 (1979)
- J.С. Channet, P.G. de Gennes. J. Opt. Soc. Am., 73 (12), 1777 (1983)
- Л.Л. Васильева, К.К. Свиташев, А.И. Семененко, Л.В. Семененко, В.К. Соколов. Опт. и спектр., 37 (3), 574 (1974)
- Z. Gu, P. Liang, W. Zhang. Optical Engineering, 41 (7), (2002). DOI: 10.1117/1.1480426
- I.H. Malitson. JOSA, 55, 1205 (1965)
- А.И. Семененко. Науч. приборостр., 15 (2), 88 2005
- Г.М. Мансуров, P.K. Мамедов, A.C. Сударушкин и др. Опт. и спектр., 52 (5), 852 (1982)
- В.А. Берштейн. Механо-гидролитические процессы и прочность твердых тел (Наука, Ленинград, 1987)
- A.M. Efimov, V.G. Pogareva, V.N. Parfinskii, M.A. Okatov, V.A. Tolmachev. Glass Technology, 46 (1), 20 (2005)
- В.М. Золотарев. Опт. и спектр., 107 (5), 794 (2009)
- R. Kitamura, L. Pilon, M. Jonasz. Appl. Opt., 46 (33), 8118 (2007)
- G. Carter, J.S. Colligon. Ion Bombardment of Solids (Amer. Elsevier Pub. Co., N.Y., 1968)
- П. Зигмунд. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой (Мир, Москва, 1984)
- P. Sigmund. Phys. Rev., 187, 768 (1969). DOI: 10.1103/PhysRev.184.383
- А.Ф. Первеев, А.В. Михайлов, В.В. Ильин. ОМП, (10), 40 (1972)
- А.Ф. Первеев, Л.В. Вишневская, Л.А. Черезова. Ионная обработка оптических материалов и покрытий (НТЦ "Информатика", Москва, 1990)
- Л.А. Черезова. Оптич. журн., 67 (10), 1 (2000)
- И.А. Храмцовский, Т.К. Вощенко, Л.А. Черезова, В.И. Пшеницын, A.A. Апинов. Опт. и спектр., 65 (1), 141 (1988)
- N.I. Chkhalo, S.A. Churin, M.S. Mikhaylenko et al. Appl. Opt., 55 (6), 1249 (2016). DOI: 10.1364/AO.55.001249
- A. Keller, S. Facsko, W. Moller. J. Phys.: Condens. Matter, 21, 495305 (2009). DOI: 10.1088/0953-8984/21/49/495305
- Y. Zhong, F. Shi, Y. Tian, Y. Dai, C. Song, W. Zhang, Z. Lin. Opt. Expr., 27 (8), 10826 (2019). DOI: 10.1364/OE.27.010826
- P.E. Miller, T.I. Suratwala, L.L. Wong, M.D. Feit, J.A. Menapace, P.J. Davis, R.A. Steele. In: Laser-Induced Damage in Optical Materials (Proc. SPIE, 5991, 2005). DOI: 10.1117/12.638821
- Н.Н. Розанов, В.М. Золотарев. Опт. и спектр., 49 (5), 925 (1980)
- Г.М. Мансуров, Н.Н. Розанов, В.М. Золотарев, С.М. Сутовский. Опт. и спектр., 53 (5), 301 (1982)
- В.М. Золотарев. Исследование свойств материалов в объеме и поверхностном слое методами спектроскопии внутреннего отражения (ГОИ им. С.И. Вавилова, Ленинград, 1981)
- E.D. Palik, R.T. Holm. Optical Eng., 17 (5), 512 (1978)
- N.J. Harrick. Internal Reflection Spectroscopy (Wiley, NY, 1967)
- И.М. Минков, Е.Л. Велицкая, В.М. Золотарев, Л.Н. Капитонова. Опт. и спектр., 58 (З), 689 (1985)
- С.С. Гусев, Н.И. Стаськов, В.В. Филиппов. Опт. и спектр., 49 (1), 117 (1980)
- Handbook of Optical Constants of Solids, ed. by E.D. Palik (Acad. Pr., NY, 1985)
- В.М. Золотарев, В.Н. Морозов, Е.В. Смирнова. Оптические постоянные природных и технических сред (Химия, Ленинград, 1984)
- A.M. Efimov. Optical Constants of Inorganic Glasses (CRC Press, Boca Raton, 1995)
- L. Alipour, S. Nakashima. Appl. Spectr., 70 (3), (2016). DOI: 10.1177/0003702815626665
- Fu Huiqin, Ding Xingeng et al. RSC Adv., 7 (27), 16264 (2017). DOI: 10.1039/C6RA27219C
- S. Wetzel, M. Klevenz, H-P. Gail et. al. A \& A, 553 (A92), 1 (2013). DOI: 10.1051/0004-6361/201220803
- M. Tomozawa, Y-K. Lee, Y-L. Peng. J. Non-Cryst. Sol., 242 (2-3), 104 (1998)
- В.И. Курбань, Т.Т. Скрипко и др. Синтетические алмазы, (3), 5 (2001)
- M. Polyanskiy. Refractive Index. INFO website: 2008-2022 (Электронный ресурс) https://refractiveindex.info/
- T.R. Steyer, K.L. Day, D.R. Huffman. Appl. Opt., 13, 1586 (1974). DOI: 10.1364/AO.13.001586
- А.И. Стогний, H.H. Новицкий, О.М. Стукалов. Письма в ЖТФ, 28 (1), 39 (2002)
- Н.Н. Андрианова, А.М. Борисов, В.В. Боровская. Прикл. физика, 2, 36 (2012)
- Y. Zhong, Y. Dai, F. Shi, C. Song, Y. Tian, Z. Lin, W. Zhang, Y. Shen. Materials, 13 (6), 1294 (2020). DOI: 10.3390/ma13061294
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
