Лазерное структурирование кварцевых стекол для создания элементов микрофлюидики
ФТ МФ Университет ИТМО, НИРМА
Бондаренко А.Г.1, Заколдаев Р.А.
1, Веласкес А.Рамос1,2
1Университет ИТМО, Санкт-Петербург, Россия
2ООО "Лазерный центр", Санкт-Петербург, Россия
Email: ag_bondarenko@itmo.ru, zakoldaev@gmail.com, alejo.rave@outlook.com
Поступила в редакцию: 9 июня 2022 г.
В окончательной редакции: 16 июня 2022 г.
Принята к печати: 30 июня 2022 г.
Выставление онлайн: 15 августа 2022 г.
Исследовано влияние мощности и скорости сканирования лазерного излучения СО2-лазера на поверхность кварцевого стекла для изготовления микроканалов и микрорезервуаров для задач микрофлюидики. Установлены зависимости размеров и шероховатости микроструктур от параметров лазерного излучения. Глубина микрофлюидных элементов достигает 45 μm с шероховатостью < 40 nm. Для записанных микроканалов произведена оценка скорости распространения жидкости (до 15 mm/s). Оценена смачиваемость микрорезервуаров, где угол смачивания достигает 64± 7o. Созданные элементы обладают высоким пропусканием (T≥ 0.8) в видимом спектральном диапазоне. Ключевые слова: CО2-лазер, микроканал, кварцевое стекло, микрофлюидика.
- M. Hitzbleck, E. Delamarche. Chem. Soc. Rev., 42 (21), 8494-8516 (2013). DOI: 10.1039/C3CS60118H
- A.E. Mironov, J. Kim, Y. Huang, A.W. Steinforth, D.J. Sievers, J.D. Eden. Nanoscale, 12 (32), 16796-16804 (2020). DOI: 10.1039/D0NR04142D
- M.J. Ahamed, D. Senkal, A.A. Trusov, A.M. Shkel. In: SENSORS (IEEE, 2013), p. 1-4. DOI: 10.1109/icsens.2013.6688574
- T. Wang, J. Chen, T. Zhou, L. Song. Micromachines, 9 (6), 269 (2018). DOI: 10.3390/mi9060269
- J. Choi, R. Ghaffari, L.B. Baker, J.A. Rogers. Sci. Adv., 4 (2), (2018). DOI: 10.1126/sciadv.aar3921
- A. Temmler, C.B. Weingarten, B. Schober, E. Uluz. Applied Surface Science, 555, 149609 (2021). DOI: 10.1016/j.apsusc.2021.149609
- K.M. Nowak, H.J. Baker, D.R. Hall. Applied Optics, 54 (29), 8653-8663 (2015). DOI: 10.1364/AO.54.008653
- A.S. Rawool, S.K. Mitra, S.G. Kandlikar. Microfluidics and Nanofluidics, 2 (3), 215-221 (2006). DOI: 10.1007/s10404-005-0064-5
- Y. Zhu, K. Petkovic-Duran. Microfluidics and Nanofluidics, 8 (2), 275-282 (2010). DOI: 10.1007/s10404-009-0516-4
- E. Bormashenko. Advances in Colloid and Interface Science, 222, 92-103 (2015). DOI: 10.1016/j.cis.2014.02.009
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.