Особенности структурирования и абляции тонких пленок титана фемтосекундными лазерными импульсами
Российский научный фонд, 21-79-30063
Кузьмин Е.В.
1, Клековкин А.В.
1
1Физический институт им. П.Н. Лебедева Российской академии наук, Москва, Россия
Email: kuzmin_evg@live.ru
Поступила в редакцию: 20 декабря 2021 г.
В окончательной редакции: 20 декабря 2021 г.
Принята к печати: 30 декабря 2021 г.
Выставление онлайн: 15 февраля 2022 г.
Проведено исследование процессов структурирования и абляции пленки титана фемтосекундными лазерными импульсами на длинах волн излучения 515 и 1030 nm как в одноимпульсном, так и в многоимпульсном режимах. Определены оптимальные энергетические режимы селективного удаления материала пленки без повреждения подложки, а также условия генерации поверхностных периодических структур. Показана эволюция периодических структур при увеличении числа лазерных импульсов. Прецизионное удаление титана связано с термомеханическими взрывным кипением и соответствующим ему вкладом энергии, обеспечивающим каскадный вид абляционных кратеров. Ключевые слова: тонкие пленки, фемтосекундные лазерные импульсы, обработка поверхности.
- K.C. Phillips, H.H. Gandhi, E. Mazur, S.K. Sundram. Advances in Optics and Photonics, 7 (4), 684 (2015). DOI: 10.1364/AOP.7.000684
- A.A. Ionin, S.I. Kudryashov, S.V. Makarov, A.O. Levchenko, A.A. Rudenko, I.N. Saraeva, D.A. Zayarny, C.R. Nathala, W. Husinsky. Laser Phys. Lett., 13, 025603 (2016). DOI: 10.1088/1612-2011/13/2/025603
- Y.V. Petrov, V.A. Khokhlov, V.V. Zhakhovsky, N.A. Inogamov. Appl. Surf. Sci., 492, 285--297 (2019). DOI: 10.1016/j.apsusc.2019.05.325
- M.V. Shugaev, L.V. Zhigilei. Comput. Mater. Sci., 166, 311--317 (2019). DOI: 10.1016/j.commatsci.2019.05.017
- S. Petrovic, B. Salatic, D. Perusko, I. Bogdanovic-Radovic, M. Cekada, B. Gakovic, D. Pantelic, M. Trtica, B. Jelenkovic. Laser Phys., 23, 026004 (2013). DOI: 10.1088/1054-660X/23/2/026004
- B. Gakovic, P.A. Danilov, S.I. Kudryashov, D. Milovanovic, A. Radulovic, P. Panjan, A.A. Ionin. Eur. Phys. J. D., 75, 288 (2021). DOI: 10.1140/epjd/s10053-021-00292-4
- C. Wu, L.V. Zhigilei. Appl. Phys. A, 1 (114), 11 (2014). DOI: 10.1007/s00339-013-8086-4
- J.M. Liu. Optics Lett., 7 (5), 196 (1982). DOI: 10.1364/OL.7.000196
- C. Nathala, A. Ajami, A.A. Ionin, S.I. Kudryashov, S.V. Makarov, T. Ganz, A. Assion, W. Husinsky. Opt. Express, 23, 5915 (2015). DOI: 10.1364/OE.23.005915
- M. Ye, C.P. Grigoropoulos. J. Appl. Phys., 89 (9), 5183--5190 (2001). DOI: 10.1063/1.1360696
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
