Вышедшие номера
Эмиссионные спектры молекулярных газов CHF3, CCl2F2, SF6 в диапазоне 3-20 nm при импульсном лазерном возбуждении с использованием различных газовых струй в качестве мишеней
РФФИ, 20-02-00364
гос. задание ФАНО, 0030-2021-0022
Гусева В.Е.1, Нечай А.Н.2, Перекалов А.А.2, Салащенко Н.Н.2, Чхало Н.И.2
1Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
2Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: nechay@ipmras.ru, perekalov@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 28 сентября 2021 г.
В окончательной редакции: 21 октября 2021 г.
Принята к печати: 1 ноября 2021 г.
Выставление онлайн: 9 декабря 2021 г.

Исследованы эмиссионные спектры молекулярных газов CHF3, CCl2F2, SF6 при возбуждении импульсным лазерным излучением. Использовался лазер Nd : YAG, λ =1064 nm, tau=5 ns, Epulse=0.8 J. Исследован спектральный диапазон 3-20 nm. Для формирования атомарно-кластерного пучка использовались капилляр диаметром d=500 μm и сверхзвуковые конические сопла с dcr = 145 μm, 2α = 12o, L= 5 mm и dcr = 450 μm, 2α = 11o, L= 5 mm. Получены эмиссионные спектры для различных газовых мишеней, проведена расшифровка полученных спектров и определены ионы, излучающие в данном спектральном диапазоне. Проведено сравнение интенсивностей линий при использовании различных систем формирования мишеней. Ключевые слова: кластерные пучки, экстремальное ультрафиолетовое излучение, эмиссионные спектры, лазерная искра, рентгеновский спектрометр-монохроматор.
  1. С.В. Кузин, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко. Известия РАН. Сер. физ., 75 (1), 88 (2011)
  2. N.I. Chkhalo, N.N. Salashchenko. AIP Adv., 3 (8), 082130 (2013)
  3. М.М. Барышева, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, М.Н. Торопов, Н.И. Чхало. УФН, 182 (7), 727 (2012)
  4. И.В. Малышев, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, М.Н. Торопов, Н.И. Чхало. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 1, 3 (2019)
  5. M. Suzuki, H. Daido, I.W. Choi, W. Yu, K. Nagai, Т. Norimatsu, Н. Fiedorowicz. Phys. Plasm., 10 (1), 227 (2003)
  6. M.B. Smirnov, W. Becker Phys. Rev. A, 74 (1), 013201 (2006)
  7. N.I. Chkhalo, S.A. Garakhin, S.V. Golubev, A.Ya. Lopatin, A.N. Nechay, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov, N.N. Tsybin, A.V. Vodopyanov, S. Yulin. Appl. Phys. Lett., 112 (22), 221101 (2018)
  8. H. Fiedorowicz, A. Bartnik, M. Szczurek, H. Daido, N. Sakaya, V. Kmetik, T. Wilhein. Opt. Commun., 163 (1-3), 103 (1999)
  9. Y. Tao, M.S. Tillack, K.L. Sequoia, R.A. Burdt, S. Yuspeh, F. Najmabadi. Appl. Phys. Lett., 92 (25), 251501 (2008)
  10. T. Higashiguchi, T. Otsuka, N. Yugami, W. Jiang, A. Endo, B. Li, G. O'Sullivan. Appl. Phys. Lett., 99 (19), 191502 (2011)
  11. K. Fukugaki, S. Amano, A. Shimoura, T. Inoue, S. Miyamoto, T. Mochizuki. Rev. Sci. Instr., 77 (6), 063114 (2006)
  12. B.A. Hansson, O. Hemberg, H.M. Hertz, M. Berglund, H.J. Choi, B. Jacobsson, M. Wilner. Rev. Sci. Instr., 75 (6), 2122 (2004)
  13. А.Н. Нечай, А.А. Перекалов, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало. Опт. и спектр., 129 (2), 146 (2021)
  14. А.Н. Нечай, А.А. Перекалов, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало. Опт. и спектр., 129 (3), 266 (2021)
  15. А.Н. Нечай, А.А. Перекалов, Н.И. Чхало, Н.Н. Салащенко. Опт. и спектр., 129 (6), 755 (2021)
  16. А.Н. Нечай, А.А. Перекалов, Н.И. Чхало, Н.Н. Салащенко, И.Г. Забродин, И.А. Каськов, А.Е. Пестов. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 9, 83 (2019)
  17. B. Abel, J. Assmann, M. Faubel, K. Gabel, S. Kranzusch, E. Lugovoj, C. Peth. J. Appl. Phys., 95 (12), 7619 (2004)
  18. D.J. Pegg, P.M. Griffin, H.H. Haselton, R. Laubert, J.R. Mowat, R.S. Thoe, I.A. Sellin. Phys. Rev. A., 10 (3), 745 (1974)
  19. R.L. Kelly, L.J. Palumbo. Atomic and ionic emission lines below 2000 angstroms-hydrogen through krypton (Naval Research Lab, Washington DC, 1973)
  20. NIST Atomic Spectra Database, Gaithersburg, 2009-2019. https://www.nist.gov/pml/atomic- spectra-database
  21. B. Edlen. Z. Phys., 94 (1-2), 47 (1935)
  22. R.E. LaVilla. J. Chem. Phys., 57 (2), 899 (1972)
  23. H. Fiedorowicz, A. Bartnik, Z. Patron, P. Parys. Laser and Particle Beams, 12 (3), 471 (1994)
  24. L.I. Podobedova, D.E. Kelleher, W.L. Wiese. J. Phys. and Chem. Ref. Data, 38 (2), 171 (2009)
  25. H.G. Berry, J. Desesquelles, K.T. Cheng, R.M. Schectman. Phys. Rev. A, 18 (2), 546 (1978)
  26. M. Muller, T. Mey, J. Niemeyer, M. Lorenz, K. Mann. AIP Conf. Proc., 1764 (1), 030003 (2016)
  27. B.A.M. Hansson, H.M. Hertz. J. Phys. D., 37 (23), 3233 (2004)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.