ФТТ, 2010, том 52, выпуск 3

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Электронно-стимулированная десорбция отрицательных ионов O- с окисленной поверхности O/Ru

Н.Д.Потехина, С.М.Соловьев

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН,
Санкт-Петербург, Россия
[1.2mm] E-mail: Soloviev@ms.ioffe.rssi.ru

(Поступила в Редакцию 25 июня 2009 г.
В окончательной редакции 29 июля 2009 г.)

Исследована электронно-стимулированная десорбция (ЭСД) отрицательных ионов кислорода с поверхности O/Ru, которая является дополнительной причиной разрушения защитного окисного слоя зеркал, используемых в ультрафиолетовой литографии. Определено сечение деградации слоя O/Ru за счет ЭСД ионов O+, O- и атомов O, которое равно 1.6·10-19 cm2. Из сравнения зависимостей выхода ЭСД ионов O+ и O- от энергии облучающих электронов E с сечением ионизации остовного уровня адсорбата sigmaO 2s(E) показано, что основным каналом ЭСД ионов O- является ионизация уровня O 2s.

 PDF версия (604Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2010, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster