ФТТ, 2009, том 51, выпуск 12

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Рентгеновская дифрактометрия и электронная микроскопия слоев пористого Si на разных стадиях окисления на воздухе

В.В.Ратников, Л.М.Сорокин, В.И.Соколов, А.Е.Калмыков

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук,
Санкт-Петербург, Россия
E-mail: ratnikov@mail.ioffe.ru

(Поступила в Редакцию 13 апреля 2009 г.)

Методами рентгеновской многокристальной дифрактометрии и просвечивающей электронной микроскопии проведено систематическое исследование полученных в различных режимах анодного травления слоев пористого кремния при их естественном окислении (старении) на воздухе. Использовалась комбинация измерений на двух- и трехкристальном дифрактометрах симметричных 004 и асимметричных 224 отражений в геометрии Брэгга для получения количественной информации о деформациях и кристаллической решетке слоев. Найдено, что старение пористого кремния характеризуется ростом как макро- и микродеформаций, так и микроразориентацией кристаллических фрагментов, приводящим к постепенному разрушению пористых слоев вплоть до их полной аморфизации.

Работа выполнена при поддержке Программы ОФН РАН \glqq Физика новых материалов и структур\grqq и Программы Президиума РАН \glqq Квантовая физика конденсированных сред\grqq.

PACS: 61.05.C-, 61.43.Gt

 PDF версия (782Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2009, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster