ФТТ, 2009, том 51, выпуск 8

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Факторы, определяющие образование наноструктур боридных и нитридных пленок на основе переходных металлов

П.И.Игнатенко

Донецкий национальный университет,
Донецк, Украина
E-mail: volya2@tcc-online.com

(Поступила в Редакцию в окончательном виде 15 декабря 2008 г.)

Методами рентгеновской дифрактометрии, электронной микроскопии и вторичной ионной масс-спектрометрии определены основные факторы, ответственные за формирование столбчатых и слоистых наноструктур боридных и нитридных пленок на основе переходных металлов. Получено выражение, позволяющее прогнозировать характер наноструктуры напыляемых пленок по данным пересыщения, величины упругих напряжений соотношения свободных граничных энергий. Проведена оценка размеров нанокристаллитов в конкретных нитридных и боридных пленках на основе переходных металлов.

Работа выполнена при поддержке МОН Украины (проект N 0103U003509).

PACS: 68.55.Ln, 68.55.Nq, 79.20.Rf, 81.15.Jj

 PDF версия (424Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2009, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster