ФТТ, 2009, том 51, выпуск 7

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Особенности формирования
кристаллической структуры цирконата-титаната свинца
в системах Si-SiO2-Ti(TiO2)-Pt-Pb(ZrxTi1-x)O3

К.А.Воротилов, О.М.Жигалина *, В.А.Васильев, А.С.Сигов

Московский государственный институт радиотехники, электроники и автоматики (Технический университет),
Москва, Россия
* Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова Российской академии наук,
Москва, Россия
E-mail: vorotilov@mirea.ru

Исследовано влияние структуры нижнего электрода на кристаллическую структуру и электрофизические свойства тонких пленок цирконата-титаната свинца, сформированных методом химического осаждения из растворов. Выявлена роль процессов диффузии и окисления Ti, приводящих к частичной разориентировке столбчатых зерен перовскитной структуры пленок. Показано, что предварительное окисление Ti обеспечивает повышение термической стабильности металлизационной системы. Обнаружен эффект влияния границ раздела в слое Pt на процесс гетерогенного зарождения перовскитных зерен.

Работа выполнена при поддержке гранта аналитической ведомственной целевой программы \glqq Развитие научного потенциала высшей школы (2006-2008 гг.)\grqq, подраздел N 2.1.2, и гранта РФФИ N 07-02-12259-офи.

PACS: 77.84.Dy, 77.90.+k, 68.37.-d, 77.55.+f

 PDF версия (2.6Mb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2009, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster