ФТТ, 2009, том 51, выпуск 3

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Фазовые превращения в тонких пленках оксида титана
в процессе химического синтеза при резко
неравновесных условиях

А.П.Беляев, А.А.Малыгин, В.В.Антипов, В.П.Рубец

Санкт-Петербургский государственный технологический интситут (Технический университет),
Санкт-Петербург, Россия
E-mail: Belyaev@lti-gti.ru, Belyaev@tu.spb.ru

(Поступила в Редакцию 21 мая 2008 г.)

Сообщается о результатах структурных и оптических исследований процессов формирования пленок оксида титана (TiO2), синтезируемых на стеклянной подложке методом ML (ALD). Приводятся электронограммы, микрофотографии, рентгенограммы и электронные спектры, измеренные на разных стадиях роста. Показано, что процесс формирования пленок включает в себя образование аморфного слоя, возникновение крупнозернистой структуры, содержащей анатаз, и, наконец, постепенное увеличение степени кристаллизации. Выявлен нетривиальный эффект: образование кристаллической формы рутил при температуре подложки 493 K.

Работа выполнена при поддержке РФФИ (грант N 07-03-00366).

PACS: 63.50.-x, 63.50.Gh, 64.70.Nd

 PDF версия (272Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2009, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster