ФТТ, 2009, том 51, выпуск 2

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Свойства наноструктур Al2O3 : nc-Si, сформированных
путем ионной имплантации кремния в сапфир
и аморфные пленки оксида алюминия

Д.И.Тетельбаум, А.Н.Михайлов, А.И.Белов, А.В.Ершов, Е.А.Питиримова, С.М.Планкина, В.Н.Смирнов,
А.И.Ковалев\kern1pt*, R.Turan\kern1pt**, S.Yerci\kern1pt**, T.G.Finstad\kern1pt***, S.Foss\kern1pt***

Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского,
Нижний Новгород, Россия
* Научно-техническое внедренческое предприятие \glqq Поверхность\grqq,
Центральный научно-исследовательский институт черной металлургии им. И.П. Бардина,
Москва, Россия
** Middle East Technical University,
Ankara, Turkey
*** University of Oslo,
Blindern, Norway
E-mail: tetelbaum@phys.unn.ru

(Поступила в Редакцию 6 марта 2008 г.
В окончательной редакции 9 июня 2008 г.)

Методами фотолюминесценции, инфракрасной Фурье-спектроскопии, рамановского рассеяния, просвечивающей электронной микроскопии и дифракции электронов исследованы люминесцентные, оптические и структурные свойства слоев оксида алюминия (сапфира и нанесенных на кремний пленок Al2O3), подвергнутых ионной имплантации Si+ с целью создания нанокристаллов кремния. Установлено, что при высокотемпературном отжиге имплантированных большими дозами образцов в обоих случаях формируются нанокристаллы кремния, однако их люминесцентные свойства существенным образом зависят от типа исходной матрицы --- в пленках Al2O3 нанокристаллы излучают в типичной для квантовых точек Si области (700-850 nm), а в сапфире такая фотолюминесценция отсутствует. Выявленное различие интерпретируется как следствие локальных механических напряжений, возникающих в системе нанокристалл/сапфир и приводящих к разрыву химических связей на границе этих фаз, тогда как в пленках Al2O3 механические напряжения релаксируют.

Работа частично выполнена в рамках проектов FP6 SEMINANO (контракт NMP4-CT-2004-505285), Минобрнауки РФ (РНП 2.1.1.4022, 2.2.2.2.4737, 2.2.2.3.10002), CRDF (BRHE REC-001, Y4-P-01-05), РФФИ (05-02-16762) и поддержана грантом Президента РФ (МК-3877.2007.2).

PACS: 78.55.Qr, 61.82.Rx, 68.55.Ln, 85.40.Ry, 78.55.Ap, 78.55.Qr, 78.30.Am, 68.37.Lp

 PDF версия (1.2Mb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2009, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster