ФТТ, 2008, том 50, выпуск 8

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Создание бездислокационных ионно-легированных
слоев кремния

В.И.Плебанович\kern1pt*, А.И.Белоус\kern1pt*, А.Р.Челядинский, В.Б.Оджаев

Белорусский государственный университет,
220050 Минск, Белоруссия
* Научно-производственное объединение \glqq Интеграл\grqq,
220108 Минск, Белоруссия
E-mail: chelyadinski@bsu.dy

(Поступила в Редакцию в окончательном виде 10 января 2008 г.)

Исследована возможность подавления образования остаточных протяженных нарушений в имплантированном ионами бора кремнии методом, совмещающим эффекты пороговой дозы и аннигиляции точечных дефектов на примесях замещения. Определены условия имплантации, обеспечивающие получение бездислокационных ионно-легированных слоев кремния.

PACS: 61.72.Tt, 61.80.-x, 61.72.Ji

 PDF версия (773Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2008, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster