ФТТ, 2008, том 50, выпуск 1

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Влияние типа и концентрации легирующей примеси на динамику бета-индуцированного изменения микротвердости кремния

Ю.И.Головин, А.А.Дмитриевский, Н.Ю.Сучкова

Тамбовский государственный университет им. Г.Р. Державина,
392622 Тамбов, Россия
E-mail: dmitr2002@tsu.tmb.ru

(Поступила в Редакцию 18 апреля 2007 г.)

Исследовано влияние типа и концентрации легирующей примеси (P, Sb, B) на динамику преобразования подсистемы структурных (собственных и радиационных) дефектов кремния в условиях низкоинтенсивного электронного облучения. Предложена качественная модель формирования комплексов вторичных радиационных дефектов, ответственных за максимумы бета-индуцированного разупрочнения монокристаллов кремния.

Работа выполнена в рамках Приоритетного национального проекта \glqq Образование\grqq Министерства образования и науки РФ, а также при финансовой поддержке РФФИ (гранты N 06-02-96321 и 06-02-96316).

PACS: 61.72.Ji, 61.72.Ss

 PDF версия (159Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2008, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster