ФТТ, 2007, том 49, выпуск 6

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

О перераспределении дислокаций в монокристаллах кремния вблизи концентраторов напряжений

А.М.Орлов, А.А.Соловьев, И.О.Явтушенко, А.А.Скворцов

Ульяновский государственный университет,
432979 Ульяновск, Россия
E-mail: SolovyevAA@ulsu.ru, OrlovAM@ulsu.ru

(Поступила в Редакцию 31 июля 2006 г.
В окончательной редакции 11 сентября 2006 г.)

Исследован механизм релаксации напряжений вблизи концентратора напряжений --- скрайба --- в монокристаллах кремния за счет размножения и перемещения дислокаций. Определены энергетические и динамические характеристики наблюдаемых процессов при различных углах ориентации концентраторов напряжений относительно направления [110].

PACS: 61.72.Ff, 61.72.Lk, 61.72.Cc

 PDF версия (204Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2007, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster