ФТТ, 2007, том 49, выпуск 5

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Ориентация кольцевых гексавакансий при изгибе
кристаллов кремния

А.С.Каминский

Институт радиотехники и электроники Российской академии наук,
125009 Москва, Россия
E-mail: kam@cplire.ru

(Поступила в Редакцию 20 марта 2006 г.
В окончательной редакции 17 октября 2006 г.)

Показано, что при растяжении монокристаллического кремния в кристаллографическом направлении [111] кольцевые гексавакансии --- вакансионные кластеры V6 (центры B480) --- ориентируются в направлениях [-111], [-1-11], [1-11]. Этот эффект объяснен сменой знака относительного изменения длины <110>-связей V6 при растяжении кристалла в направлении [111] по отношению к случаю сжатия в этом же направлении. Получены зависимости отношений интенсивностей I1/I2 линий X480(J1) и X472(J2) рекомбинационного излучения экситонов, связанных на V6, характеризующие степень ориентации V6, от давления, воздействующего на V6 в условиях сжатия и растяжения кремния. Предложен метод ориентации V6, получаемой одновременно в условиях и сжатия, и растяжения кристалла при его изгибе.

Работа выполнена при финансовой поддержке РФФИ (грант N 05-02-16368).

PACS: 71.55.-i, 71.35.-y

 PDF версия (197Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2007, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster