ФТТ, 2007, том 49, выпуск 2

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Рентгенодифракционные исследования особенностей кинетики роста кислородосодержащих преципитатов в Cz-кремнии

Н.Н.Новиков, П.А.Теселько, О.В.Михалюк

Киевский национальный университет им. Т. Шевченко,
01033 Киев, Украина
E-mail: peter@univ.kiev.ua

(Поступила в Редакцию 25 мая 2006 г.)

Методом трехкристальной рентгеновской дифрактометрии выполнено исследование процесса образования и роста дефектов (преципитатов и дислокационных петель) при изотермическом распаде пересыщенного твердого раствора кислорода в выращенном методом Чохральского кремнии. Установлено, что рост кислородосодержащих преципитатов происходит за счет протекания диффузионных процессов, а образование дислокационных петель связано как с процессами коагуляции внедренных атомов кремния, так и с выдавливанием петель напряжениями, создающимися в окрестности преципитатов.

PACS: 61.72.Cc, 61.10.Nz

 PDF версия (168Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2007, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster