ФТТ, 2007, том 49, выпуск 1

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Эффект больших доз в рентгеновских Si L2,3-эмиссионных спектрах при имплантации кремния ионами железа в стационарном режиме

Д.А.Зацепин, Э.З.Курмаев, И.Р.Шеин\kern1pt*, В.М.Черкашенко, С.Н.Шамин, С.О.Чолах\kern1pt**

Институт физики металлов Уральского отделения Российской академии наук,
620219 Екатеринбург, Россия
* Институт химии твердого тела Уральского отделения Российской академии наук,
620219 Екатеринбург, Россия
** Уральский государственный технический университет,
620002 Екатеринбург, Россия
E-mail: d

(Поступила в Редакцию 7 апреля 2006 г.)

Методом рентгеновской Si L2,3-эмиссионной спектроскопии (электронный переход 3d3s-> 2p) исследован эффект больших доз (ЭБД) в образцах кремния с проводимостью p- и n-типа, имплантированных ионами Fe+ в стационарном сканирующем режиме (энергия имплантации 100 keV, плотность ионного тока 0.6-0.8 muA/cm2, дозы облучения от 1014 до 1016 ions/cm2). Выполнен анализ Si L-спектров посредством их сравнения со спектрами эталонов, проведено сопоставление с рентгеновскими спектральными данными по импульсной имплантации ионами Fe+, а также их моделирование методом молекулярной динамики и полнопотенциальным методом присоединенных плоских волн (FLAPW). В результате установлены особенности проявления ЭБД при стационарном режиме внедрения ионов Fe+ в полупроводниковую кристаллическую матрицу, которые заключаются в более сильном разупорядочении структуры и частичной аморфизации образца от поверхности в объем по сравнению с импульсным ионным воздействием, однако рекристаллизация образца при достижении пороговой дозы облучения практически отсутствует. Обсуждаются наиболее вероятные причины и механизмы такого проявления ЭБД в исследованных образцах.

Работа выполнена при поддержке проектов РФФИ (гранты N 05-02-16438 и 05-02-16448), гранта Минобразования --- CRDF: Annex BF4M05, EK-005-X2 [REC-005], BRHE 2004 post-doctoral fellowship award Y2-EP-05-11, а также Совета по грантам Президента РФ для ведущих научных школ (грант НШ-4192.2006.2).

PACS: 71.20.Nr, 71.20.--b

 PDF версия (411Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2007, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster