ФТТ, 2007, том 49, выпуск 1

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Кинетика процесса плавления-диспергирования тонких пленок меди

Д.Г.Громов, С.А.Гаврилов, Е.Н.Редичев, Р.М.Аммосов *

Московский государственный институт электронной техники,
124498 Москва, Зеленоград, Россия
* Государственный исследовательский институт физических проблем им. Ф.В. Лукина,
124460 Москва, Россия
E-mail: pcfme@dpts.miee.ru

(Поступила в Редакцию в окончательном виде 15 мая 2006 г.)

Исследована кинетика процесса плавления-диспергирования тонких пленок меди различной толщины. Показано, что плавление пленки возникает в локальных местах и далее область плавления распространяется фронтом. Установлено, что плавление пленки одной и той же толщины может наступать спустя разное время при различных температурах: от почти мгновенного при более высоких температурах до плавления в течение нескольких часов при более низких. Определена зависимость энергии активации процесса плавления-диспергирования от толщины пленки меди. Вид зависимости энергии активации объяснен с позиций гидродинамики. Рассмотрен механизм процесса плавления-диспергирования.

Работа выполнена при финансовой поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (гранты N 05-03-32744-a, 05-08-01508-a).

PACS: 61.46.+w, 64.70.Dv, 68.35.Md, 68.60.Dv

 PDF версия (370Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2007, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster