ФТТ, 2006, том 48, выпуск 3

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Исследования свойств FeAlN тонких пленок в зависимости от способов синтеза

А.С.Камзин, ФулиньВей\kern1pt*, ЗхенгЯнг\kern1pt*, С.А.Камзин

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук,
194021 Санкт-Петербург, Россия
* НИИ магнитных материалов, Ланджоуский университет,
Ланджоу, 730000 Китай
E-mail: Kamzin@mail.ioffe.ru

(Поступила в Редакцию 4 февраля 2005 г.)

Исследованы микроструктура, морфология и магнитные свойства пленок FeAlN, осажденных методом реактивного радиочастотного распыления с последующим синтезом с использованием трех способов: in situ, ex situ (процессы распыления и отжига разделены) и термокристаллизации аморфных сплавов. Пленки FeAlN, синтезированные методом ex situ, имеют лучшие магнитомягкие характеристики. Методом термокристаллизации аморфных сплавов получены пленки с наивысшей стабильностью свойств по температуре. Наилучшими магнитомягкими свойствами обладают пленки толщиной 800--1000 nm. Установлены зависимости свойств FeAlN пленок от содержания в них азота и от температуры отжига. Определен режим синтеза наноструктурных тонких пленок FeAlN, обладающих лучшими магнитомягкими характеристиками (индукция насыщения BS=1.8 T, коэрцитивная сила HC=1.2 Oe и магнитная восприимчивость mu1 (1 MHz)=3400 ).

Работа выполнена при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (гранты N 02-02-39006 и 05-02-17791) и Фонда естественных наук Китайской Народной Республики (грант N 60371016).

PACS: 81.15.Cd, 68.37Yz, 68.60.Wm, 75.70.Ak

 PDF версия (541Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2006, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster