ФТТ, 2006, том 48, выпуск 1

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Кинетика формирования дискретных наноструктур в процессе вакуумной конденсации из однокомпонентного пара

В.М.Иевлев, Е.В.Шведов

Воронежский государственный технический университет,
394026 Воронеж, Россия
E-mail: karl12@yandex.ru

(Поступила в Редакцию 5 апреля 2005 г.)

Методом численного решения системы кинетических уравнений исследуется кинетика кластерообразования в процессе вакуумной конденсации тонких пленок. Получены графики распределения по размерам кластеров от единиц до нескольких сотен атомов. В координатах температура-скорость конденсации определены области преимущественного зарождения на активных центрах --- точечных дефектах кристаллической подложки --- и статистического зарождения и показана возможность разделения областей псевдослоевого и трехмерного (шероховатого) роста. Показано, что причиной экспериментально наблюдаемой двухмодальности распределения островков по размерам может быть различие в скоростях роста кластеров на стадии, предшествующей коалесценции.

Работа поддержана грантом Министерства образования и науки РФ \glqq Ведущие научно-педагогические коллективы\grqq.

PACS: 68.03.Fg, 68.03.Hj

 PDF версия (237Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2006, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster