ФТТ, 2004, том 46, выпуск 1

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Пути получения упорядоченных гетероструктур Ge--Si с германиевыми нанокластерами предельно малых размеров

Ю.Б.Болховитянов, С.Ц.Кривощапов, А.И.Никифоров, Б.З.Ольшанецкий, О.П.Пчеляков,
Л.В.Соколов, С.А.Тийс

Институт физики полупроводников Сибирского отделения Российской академии наук,
630090 Новосибирск, Россия
E-mail: pch@isp.nsc.ru

Обсуждаются пути получения ансамблей нанокластеров германия предельно малых размеров и большой плотности распределения по площади подложки. Рассматриваются возможные варианты управления морфологией и упорядочением этих ансамблей.

Работа поддержана Российским фондом фундаментальных исследований (проект N 03-02-16506-а) и Министерством промышленности, науки и технологий РФ (госконтракт N 37.039.1.1.0041).

 PDF версия (456Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2004, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster