ФТТ, 2003, том 45, выпуск 6

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Электронный парамагнитный резонанс в нейтронно-легированных полупроводниках с измененным изотопным составом

П.Г.Баранов, А.Н.Ионов, И.В.Ильин, П.С.Копьев, Е.Н.Мохов, В.А.Храмцов

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук,
194021 Санкт-Петербург, Россия
E-mail: Pavel.Baranov@mail.ioffe.ru

(Поступила в Редакцию 21 октября 2002 г.)

Рассмотрены возможности метода ЭПР при исследовании и контроле процесса нейтронного трансмутационного легирования (НТЛ) полупроводниковых материалов германия, кремния и карбида кремния. Показано, что метод ЭПР позволяет непосредственно контролировать процессы отжига радиационных дефектов в полупроводниковых материалах, подвергнутых нейтронному облучению, и следить за восстановлением сигналов ЭПР мелких доноров в процессе отжига дефектов, компенсирующих доноры. Метод ЭПР может быть использован для раздельной регистрации изолированных доноров и обменно-связанных пар, троек и больших кластеров донорных атомов, а следовательно, и для выявления степени однородности распределения примеси в кристалле. Показано, что нейтронное легирование приводит к достаточно однородному распределению доноров мышьяка в кристалле германия. Обоснована необходимость использования обогащенных выделенными изотопами полупроводниковых материалов для НТЛ. Представлены результаты исследования доноров фосфора в карбиде кремния.

Работа поддержана Российским фондом фундаментальных исследований (проекты N 00-02-16950, 00-02-16992 и 02-02-176052), а также МНТЦ (проект N 1354).

 PDF версия (373Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2003, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster