Вышедшие номера
Оптические свойства композитной структуры a-SiC:H/Ag/c-Si
Российский научный фонд, проект фундаментальных научных исследований и поисковых научных исследований малыми отдельными научными группами, 24-22-00334
Пригода К.В. 1, Большаков В.О. 1, Грудинкин С.А. 1, Ермина А.А. 1, Марков Д.П. 1, Жарова Ю.А. 1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: kristina_prigoda@mail.ru, vobolshakov@mail.ioffe.ru, Grudink@gvg.ioffe.ru, annaermina@mail.ioffe.ru, danisimyss@gmail.com, piliouguina@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 4 мая 2025 г.
В окончательной редакции: 23 июня 2025 г.
Принята к печати: 24 октября 2025 г.
Выставление онлайн: 23 декабря 2025 г.

Методами спектральной эллипсометрии и рефлектометрии были исследованы оптические свойства композитной структуры a-SiC:H/полусферические наночастицы Ag/c-Si. Полусферические наночастицы Ag на c-Si получены методом химического осаждения из раствора AgNO3+HF с последующей термообработкой на воздухе. Слой a-SiC:H (~50 nm) был нанесен на поверхность полусферических частиц Ag методом плазмохимического газофазного осаждения. В спектре отражения при s-поляризации в диапазоне длин волн от 701 до 717 nm наблюдался резкий провал почти до нулевого значения, величина которого зависела от угла падения света на образец. Ключевые слова: гидрогенизированный аморфный карбид кремния, полусферические наночастицы серебра, спектральная эллипсометрия.
  1. В.А. Васильев, А.С. Волков, Е. Мусабеков, Е.И. Теруков, В.Е. Челноков, С.В. Чернышев, Ю.М. Шерняков. ФТП, 24, (4), 710 (1990)
  2. S. Greenhorn, E. Bano, V. Stambouli, K. Zekentes. Materials, 17 (5), 1135 (2024). DOI: 10.3390/ma17051135
  3. M. Barbouche, R. Benabderrahmane Zaghouani, N.E. Ben Ammar et al. J. Mater. Sci.: Mater. Electron., 32, 20598 (2021). DOI: 10.1007/s10854-021-06570-6
  4. K. Kamakshi, J.P.B. Silva, N.S. Kiran Kumar, K.C. Sekhar, M. Pereira. MRS Commun., 10, 353 (2020). DOI: 10.1557/mrc.2020.34
  5. K. Kamakshi, K.C. Sekhar, A. Almeida, J. Agostinho Moreira, M.J.M. Gomes. Plasmonics, 10, 1211 (2015). DOI: 10.1007/s11468-015-9915-4
  6. W. Yu, X.-Z. Wang, W.-L. Dai, W.-B. Lu, Y.-M. Liu, G.-S. Fu. Chin. Phys. B, 22 (5), 057804 (2013). DOI: 10.1088/1674-1056/22/5/057804
  7. A. Sanger, P.K. Jain, Y.K. Mishra, R. Chandra. Sensor. Actuat. B-Chem., 242, 694 (2017). DOI: 10.1016/j.snb.2016.11.107
  8. L. Zhong, P.A. Reed, R. Huang, C.H. de Groot, L. Jiang. Microelectron. Eng., 119, 61 (2014). DOI: 10.1016/j.mee.2014.02.004
  9. H. Ferhati, A. Bendjerad, F. Djeffal, A. Benhaya, A. Saidi. 2022 19th International Conference on Electrical Engineering, Computing Science and Automatic Control ( CCE) (IEEE, 2022), p. 1-4. DOI: 10.1109/CCE56709.2022.9975902
  10. O.E. Eremina, N.R. Yarenkov, G.I. Bikbaeva et al. Talanta, 266 (1), 124970 (2024). DOI: 10.1016/j.talanta.2023.124970
  11. A. Tabarov, K. Prigoda, E. Popov et al. Appl. Surf. Sci., 682, 161771 (2025). DOI: 10.1016/j.apsusc.2024.161771
  12. R. Abbas, J. Luo, X. Qi, A. Naz, I.A. Khan, H. Liu, S. Yu. J. Wei Nanomaterials, 14 (17), 1425 (2024). DOI: 10.3390/nano14171425
  13. F. Alzoubi, W. BaniHani, R. BaniHani, H. Al-Khateeb, M. Al-Qadi, Q. Al Bataineh. J. Clust. Sci., 35, 2979 (2024). DOI: 10.1007/s10876-024-02708-8
  14. G.E. Lio, A. Ferraro, M. Giocondo, R. Caputo, A. DeLuca. Adv. Optical Mater., 8 (17), 2000487 (2020). DOI: 10.1002/adom.202000487
  15. N. Priscilla, D. Smith, E. Della Gaspera, J. Song, L. Wesemann, T. James, A. Roberts. Adv. Photonics Res., 3 (5), 2100333 (2022). DOI: 10.1002/adpr.202100333
  16. M. Iwanaga. Plasmonic resonators: fundamentals, advances, and applications (Pan Stanford Publishing Pte. Ltd., Singapore, 2016), 1st ed. DOI: 10.1201/9781315364711