Вышедшие номера
Home » Оптика и спектроскопия » Год 2025, выпуск 8 » Статья стр. 874
<<<>>>
Оптические характеристики легированных бором кремниевых пластин после быстрого термического отжига
Министерство образования Республики Беларусь, 1.15 Фотоника и электроника для инноваций, 20211116
Стаськов Н.И. 1, Сергейчик А.А. 2, Сотский А.Б. 1, Петлицкий А.Н. 2, Пилипенко В.А. 2, Сотская Л.И. 3, Понкратов Д.В. 1, Чудаков Е.А. 1, Шилов А.В. 1
1Могилевский государственный университет имени А.А. Кулешова, Могилев, Республика Беларусь
2ГЦ "Белмикроанализ" НТЦ, ОАО "ИНТЕГРАЛ", Минск, Республика Беларусь
3Белорусско-Российский университет, Могилев, Беларусь
Email: ni_staskov@mail.ru, ab_sotsky@mail.ru, li_sotskaya@tut.by, d.v.ponkratov@yandex.by, kenni_mark@bk.ru, undersv@yandex.ru
Поступила в редакцию: 4 сентября 2024 г.
В окончательной редакции: 7 мая 2025 г.
Принята к печати: 5 июня 2025 г.
Выставление онлайн: 29 сентября 2025 г.
PDF версия
Методом спектральной эллипсометрии исследованы оптические свойства легированных бором кремниевых пластин КДБ-12 с одной матированной поверхностью, подвергнутых быстрому термическому отжигу. В алгоритме расчетов диэлектрической проницаемости полупроводниковой подложки исключено влияние известного поверхностного оксидного слоя. Рассчитаны ширина запрещенных зон и энергия Урбаха. Спектры действительной и мнимой частей диэлектрической проницаемости сдвинуты относительно соответствующих спектров c-Si в коротковолновую область. Полоса мнимой части диэлектрической проницаемости в области второй точки сингулярности состоит из нескольких полос. Ключевые слова: спектры диэлектрической проницаемости, показатели преломления и поглощения, ширина запрещенной зоны, энергия Урбаха, легированный бором кремний.
  1. А.М. Светличный, О.А. Агеев, Д.А. Шляховой. Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 4-5, 38 (2001)
  2. Ю.И. Уханов. Оптические свойства полупроводников (Наука, М., 1977)
  3. Н.С. Ковальчук, А.А. Омельченко, В.А. Пилипенко, В.А. Солодуха, Д.В. Шестовский. Доклады БГУИР, 19 (4), 103 (2021). DOI: 10.35596/1729-7648-2021-19-4-103-112
  4. E.D. Palik. Handbook of Optical Constants of Solids (Academic press, Orlando, 1985)
  5. Martin A. Green, Mark J. Keevers. Progress in Photovoltaics: Research and Applications, 3, 189 (1995)
  6. H.G. Tompkins, E.A. Irene. Handbook of Ellipsometry (Inc. Springer, USA, 2005)
  7. H. Fujiwara. Spectroscopic Ellipsometry: Principles and Applications (John Wiley \& Sons, Ltd, 2007)
  8. D.E. Aspnes, A.A. Studna. Phys. Rev. B, 27 (2), 985 (1983)
  9. G.E. Jellison. Thin Solid Films, 313-314, 33 (1998)
  10. J. Tauc, R. Grigorovici, A. Vancu. Phys. Status Solidi B, 15, 627 (1966)
  11. N.V. Gaponenko, N.I. Staskov, L.V. Sudnik, P.A. Vityaz, A.R. Luchanok, Yu.D. Karnilava, E.I. Lashkovskaya, M.V. Stepikhova, A.N. Yablonskiy, V.D. Zhivulko, A.V. Mudryi, I.L. Martynov, A.A. Chistyakov, N.I. Kargin, V.A. Labunov, Yu.V. Radyush, E.B. Chubenko, V.Yu. Timoshenko. Photonics, 10(4), 359 (2023). DOI: 10.3390/photonics10040359
  12. J. Noffsinger, E. Kioupakis, C.G. Van de Walle, S.G. Louie, M.L. Cohen. Phys. Rev. Lett., 108, 167402 (2012). DOI: 10.1103/PhysRevLett.108.167402
  13. K.W. Boer, U.W. Pohl. Semiconductor Physics (Springer. Library of Congress Control Number: 2017957993). DOI: 10.1007/978-3-319-69150-3
  14. V.A. Solodukha, U.A. Pilipenko, A.A. Omelchenko, D.V. Shestovski. Devices and Methods of Measurements, 13(3), 199 (2022). DOI: 10.21122/2220-9506-2022-13-3-199-207
  15. В.А. Пилипенко, В.А. Солодуха, В.А. Горушко, А.А. Омельченко. Докл. Нац. акад. наук Беларуси, 62(3), 347 (2018). DOI: 10.29235/1561-8323-2018-62-3-347-352
  16. В.М. Анищик, В.А. Горушко, В.А. Пилипенко, В.В. Понарядов, В.А. Солодуха, А.А. Омельченко. Журнал Белорусского государственного университета. Физика, 3 (81), (2021)
  17. В.А. Солодуха, А.И. Белоус, Г.Г. Чигирь. Наука и техника, 15(4), 329 (2016). DOI: 10.21122/2227-1031-2016-15-4-329-334
  18. В.А. Швец, Е.В. Спесивцев, С.В. Рыхлицкий, Н.Н. Михайлов. Российские нанотехнологии, 4(3), 72 (2009)
  19. И.В. Ивашкевич, Н.И. Стаськов, А.Б. Сотский, Л.И. Сотская, Н.А. Крекотень, Л.Д. Буйко. Известия ГГУ, 39 (6, ч. 2), 60 (2006)
  20. Н.И. Стаськов, И.В. Ивашкевич, А.Б. Сотский, Л.И. Сотская. Проблемы физики, математики и техники, 1(10), 26 (2012)
  21. N.I. Staskov, L.I. Sotskaya. J. Appl. Spectrosc., 84(5), 764 (2017). DOI:10.1007/s10812-017-0542-z
  22. Д.И. Биленко, В.П. Полянская, М.А. Гецьман, Д.А. Горин, А.А. Невешкин, А.М. Ященок. ЖТФ, 75 (6), 69 (2005)
  23. B.M. Ayupov, V.A. Gritsenko, Hei Wong, C. W. Kimd. J. Electrochemical Society, 153(12), F277 (2006)
  24. Р. Азам, Н. Башара. Эллипсометрия и поляризованный свет (Мир, М., 1981)
  25. Н.И. Стаськов, А.А. Мухаммедмурадов, Н.А.Крекотень, С.О. Парашков. Журнал прикладной спектроскопии, 87(1), 122 (2020)
  26. I.H. Malitson. J. Opt. Soc. Am., 55(10), 1205 (1965)
  27. A.R. Forouhi, I. Bloomer. Phys. Rev. B, 38(3), 1865 (1988)
  28. А.Б. Сотский. Теория оптических волноводных элементов (УО МГУ им. А.А. Кулешова, Могилев, 2011)
  29. А.С. Рудый, А.Б. Чурилов, С.В. Курбатов, А.А. Мироненко, В.В. Наумов, Е.А. Козлов. ЖТФ, 93(10), 1447 (2023). DOI: 10.61011/JTF.2023.10.56283.93-23 
  30. J.C. de Souza, A.F. da Silva, H. Vargas. J. Physique, IV(4(C7)), C7-129 (1994)
  31. L. Vina, \& M. Cardona. Phys. Rev. B, 29(12), 6739 (1984)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme